両面同時露光マスクアライナー『BS320』

ウェハ表裏同時露光！セミオート動作で中ロット生産に対応

両面同時露光マスクアライナー『BS320』は、研究開発から小中ロット製造用
として多くの出荷実績がある両面同時露光式マスクアライナーです。

一次露光は両面同時、二次露光以降は片面づつ露光する方法を採用するため、
シンプルで応用が利き、ニーズに合わせたカスタマイズも承ります。
二次露光以降は片面露光となるので別途「試料台」が必要です。

また、二次露光以降も両面同時露光可能なBS320uもあり、
セミオート動作で中ロット生産に対応しているので
お気軽にお問い合わせください。

【特長】
■最大φ4インチウェハ対応
■コンパクト設計
■1次露光時はフットスイッチによりセミオート運転が可能
■手置き式のため規格外形状試料への対応が容易
■ウェハ位置決めガイド搭載（オプション）　他

※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。