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最終更新日:2019/03/18

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Technical-News ESCAによる多層膜の深さ分析

基本情報Technical-News ESCAによる多層膜の深さ分析

絶縁物の表面分析に適しており、Arイオンエッチングによる深さ分析や10μm径のビームによる局所分析が可能。

光学反射膜などにおいて積層構造の薄膜がよく使用されますが,膜の組成や化学結合
を評価することが重要で光電子分光分析装置(ESCA)がよく利用されます。

Technical-News ESCAによる多層膜の深さ分析

Technical-News ESCAによる多層膜の深さ分析 製品画像

光学反射膜などにおいて積層構造の薄膜がよく使用されますが,膜の組成や化学結合
を評価することが重要で光電子分光分析装置(ESCA)がよく利用されます。
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取扱会社 Technical-News ESCAによる多層膜の深さ分析

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1.受託物理分析 2.イオン注入加工

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