マグネトロンスパッタ装置　ＭＳＰ－２０－ＭＴ型の製品カタログ03

基本情報マグネトロンスパッタ装置　ＭＳＰ－２０－ＭＴ型の製品カタログ

４インチターゲット全自動機能付き貴金属コーター！！大きな試料、多数の試料を処理可能です。

この装置は電子顕微鏡試料などに貴金属薄膜をコーティングし、導電処理を施すための装置です。煩雑な操作手順を必要としない操作性、大型試料にもコーティング可能な４インチターゲットを搭載しています。

○実験器具・装置の開発 ○電子顕微鏡試料作製の開発、製品化、販売、サービス〇スパッタ装置、蒸着装置、プラズマ処理装置、プラズマCVD装置、RFスパッタ装置、真空コンポーネント

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