マグネトロンスパッタ装置　ＭＳＰ－８インチ型の製品カタログ2

８インチ試料台・ターゲット搭載！！ マグネトロンターゲット電極で、８インチウェーハに対応する大面積試料ステージを搭載。

この装置はマグネトロンターゲットによるメタルコーティング装置です。8インチウェハのような大面積試料や、多数個試料の同時処理に使用します。
MSP-8inのターゲット電極はターゲット金属面に沿って多重同心円状の磁場を形成させ、この磁場で電子を捕捉することによりターゲット金属をスパッタさせるためのプラズマイオン密度を向上させています。磁場の強さはターゲットの中心部から外周まで被着金属膜の厚さが一様になるように構成されています。