『ASM Epsilon用温度センサー』

新コーティング技術で、センサ寿命3倍！最大45％のコストダウンを実現！

今回新たに、米国CONAX社が開発した新技術“EtchDefender”を採用し、
ウエハの異物付着の低減、失透速度、浸食速度のスロー化などにより、
従来のセンサーの最大3倍にまで寿命延ばすことが可能となりました！

“EtchDefender”は数年間にわたり、大学の研究機関、大手ウエハメーカーの
製造設備にて、検証を繰り返して達成した信頼性のある技術です。

この新しいコーティング技術によって、センサーの寿命を延ばし、
35～45％もの大幅なコストダウンを実現することができます。

※詳しくはカタログをご覧下さい。お問い合わせもお気軽にどうぞ。