一般財団法人材料科学技術振興財団 MST
最終更新日:2019-08-16 10:09:51.0
[(S)TEM](走査)透過電子顕微鏡法
基本情報[(S)TEM](走査)透過電子顕微鏡法
薄片化した試料に電子線を照射し、試料を透過した電子や散乱した電子を結像して高倍率で観察する手法です
TEM分析における下記の情報を掲載しております
・装置概観
・特徴
・適用例
・原理
・装置構成
・データ例
・データ形式
・仕様
・料金
・速報納期
・必要情報
・注意点
[(S)TEM](走査)透過電子顕微鏡法
TEMは、薄片化した試料に電子線を照射し、試料を透過した電子や散乱した電子を結像し、高倍率で観察する手法です。
■長所
・サブナノレベルの空間分解能で拡大像が得られ、試料の微細構造・格子欠陥等を観察・解析可能
・試料の結晶性を評価し、物質の同定を行うことが可能
・FIBで試料作製することにより、デバイス内の指定箇所をピンポイントで観察することが可能
・オプション機能を組み合わせることにより、局所領域の組成・状態分析なども可能
■短所
・試料を薄片化する必要がある(一部の試料において薄片化が困難な場合もある)
・単原子を見ているのではなく、試料の厚み方向(通常約0.1μm厚) の平均情報を映し出している
・試料加工および観察により、試料が変質・変形することがある (詳細を見る)
取扱会社 [(S)TEM](走査)透過電子顕微鏡法
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