一般財団法人材料科学技術振興財団 MST
最終更新日：2018-09-13 14:05:42.0
［SEM］走査電子顕微鏡法
基本情報［SEM］走査電子顕微鏡法
電子線を試料に当てた際に試料から出てくる電子の情報を基に、試料の凹凸や組成の違いによるコントラストを得ることができる手法です
SEM分析における下記の情報を掲載しております
・装置概観
・特徴
・適用例
・原理
・装置構成
・データ例
・データ形式
・仕様
・料金
・速報納期
・必要情報
・注意点
［SEM］走査電子顕微鏡法
SEMは、電子線を試料に当てた際に試料から出てくる電子の情報を基に、試料の凹凸や組成の違いによるコントラストを得ることができる手法です。
・簡単な操作で高倍率観察(50万倍程度まで)が可能
・二次電子（Secondary Electron;SE）像、反射電子（BackScattered Electron;BSE）像、透過電子（Transmitted Electron;TE）像の観察が可能
・加速電圧0.1～30kVの範囲で観察が可能
・最大6インチまで装置に搬入可能（装置による）
・SEMにオプションを組み合わせることにより、様々な情報を得ることが可能
EDX検出器による元素分析が可能
電子線誘起電流（EBIC）を測定し、半導体の接合位置・形状を評価
電子後方散乱回折（EBSD)法により、結晶情報を取得可能
FIB加工とSEM観察の繰り返しにより、立体的な構造情報を取得可能（Slice & View）
冷却観察・雰囲気制御観察 （詳細を見る）
【クライオSEM分析】液体中微粒子の分散状態を評価
液体に分散させて用いる微粒子の粒径・構造を評価する際、液体を乾燥させて粉体として微粒子を取り出し、電子顕微鏡を用いての測定が一般によく行われています。
しかしながら、乾燥による分散状態の変化や粒子の変形が起こるため、どのように分散しているのかを調べるには不向きな測定法です。
MSTでは、液体試料内で微粒子がどのように分散しているかを直接評価するため、クライオ加工＋SEM分析（クライオSEM分析）を行って評価が可能です。 （詳細を見る）
取扱会社 ［SEM］走査電子顕微鏡法
受託分析サービスで、研究開発を行う皆様をサポートします！ 半導体・金属・電池などのエレクトロニクス材料や、医薬品・化粧品・食品・環境などのライフサイエンス分野に幅広く対応。 SIMS・TEM・XRD・ICP-MS・GC/MS・AES・SEM・EPMA・EELSなど、さまざまな分析装置を保有し、分析ニーズに応えます。 まずはご相談下さい。 ◆事業領域◆ 1. 科学技術分野における材料に関する基礎的研究及び解析・評価。 2. 半導体、生理学生化学、バイオ関連分野及び各種先端的分野についての基礎的研究及び解析・評価。 3. １、２号に掲げる国内外における関連分野の研究機関又は個人に対する表彰及び支援。 4. １、２号に掲げる研究成果等の出版または出版の支援。 5. １、２号に掲げる国内外における関連分野の調査。 6. １、２号に掲げる国内外における関連分野に関する研修の実施及び支援または研修所の運営。 7. その他目的を達成するために必要な事業。
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