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最終更新日:2024-04-17 14:04:49.0

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事例:半導体製造設備から排出される温室効果ガスの除害効果の計測

MAX-iR FTIRガスアナライザー

MAX-iR FTIRガスアナライザー 製品画像

Thermo Scientific MAX-iR FTIRガスアナライザーは、インラインプロセス、バッチサンプリング、ガス純度/認証、排出ガス源試験、排気ガス、環境大気モニタリングなどに求められるもっとも厳しい基準を満たすよう設計されています。

この装置にはFTIRまたは光学強化型FTIRの光学的性能を大幅に強化したThermo Scientific StarBoost 光学強化テクノロジーが搭載できます。多くのアプリケーションでは数ppbレベルという検出限界を達成可能です。さらにMAX-iRアナライザーは、超高純度バルクガスアプリケーションでの検出限界を数十pptレベルまで下げることができるため、FTIRガス分析計の中でもっとも高感度な装置の1つといえます。

超高速分析性能と卓越した検出下限値を備えたMAX-iR FTIRガスアナライザーは、ガスクロマトグラフィー(GC)といった従来の低速・高運用コストの技術よりも優れており、これらを置き換えることができます。
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