【圧力センサ】ウルトラクリーン半導体用
高純度、特殊ガスに適応した、ウルトラクリーンセンサを取り扱っております。
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接ガス部はインコネル６００シリーズとＳＵＳ３１６を採用し全溶接構造で堅牢なデザインです。耐圧も６９ｋＰａと高く作られています
モデル２０１は耐食性の微差圧トランスミッタです。 接ガス部は全溶接構造でリークの心配がない構造になっています。 接ガス部の材質はインコネル６００シリーズを採用、継手部はＳＵＳ３１６を採用して耐腐食…
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液体/液体での微差圧計測をローコストで行える液体用差圧センサ
液体/液体での微差圧計測をローコストで可能にします。 早い応答性でライン圧影響が小さく高い過負荷圧力と最大ライン圧での使用を可能にします。 測定モードは、一方向差圧、または、二方向差圧です。 …
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セトラ社、超微差圧０～２５Ｐａから豊富な圧力レンジで３種類の精度をがあり、ＤＩＮレール取付型も準備。現場の作業を容易にします。
セトラ社、超微差圧０～２５Ｐａフルスケールから豊富な圧力レンジで精度は±０．２５％、±０．５％、±１％ＦＳの３種類用意されており用途により選択が出来ます。オプションで圧力表示器も選択可能です。出力信号…
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特殊ガスのモニターと制御用に開発されたウルトラクリーンセンサ
セトラ社のモデル２２４は特殊ガスのモニターと制御用に開発されたウルトラクリーンセンサです。 モデル２２４はパージ効果の高い流線型のセンサチャンバを持ち、ガスの流れによる瞬時の温度変化の条件下でも優…
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特殊ガス用途に開発された静電容量方式の圧力センサ
セトラ社のモデル２２５は特殊ガス用途に開発された静電容量方式の圧力センサです。配管時のトルクストレス、低温ガスのフローによる温度変化、外部からの高周波ノイズなどの影響が受けにくい構造になっています。
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コンパクトサイズでローコスト。半導体製造ラインなどで活躍。静電容量型
『730シリーズ』は、コンパクトサイズ・ローコスト・高精度を実現した セトラシステムズ社の真空センサです。静電容量の変化を検知して、 リニアな直流電圧信号に変換し出力します。 温度補償範囲が…
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