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加熱効率向上で省エネルギー化！高速応答性でサーマルバジェット低減を実現
『LEDアニール装置』は、ハロゲンヒータ、フラッシュランプに次ぐ 第三の光加熱源です。 加熱効率向上で省エネルギー化、高速応答性でサーマルバジェット低減を実現。 放射温度計によるリアルタイム…
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ワークサイズに応じて、フラッシュランプを複数本配置！大面積で一括照射、高照射が可能！
『SUS980シリーズ』は、結晶化、剥離、酸化膜形成などの用途にお使いいただける フラッシュランプアニール装置です。 ランプに流れる電流を半導体スイッチでON／OFF制御することで、 ランプ…
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温度制御システムも行っています！ハロゲンヒータユニット用制御盤
実験研究用途から量産までサポート！細かなレシピにより自在性のある温度制御も可能
当社で取り扱う、『ハロゲンヒータユニット用制御盤』をご紹介いたします。 ハロゲンヒータを用いた温度制御システムで、コンパクトサイズながら 高機能を搭載。 細かなレシピ(センサ切替、制御…
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光加熱で高効率スポット融雪！場所を選ばず、既設の建築壁面やボールなどにも簡単設置
『遠赤外線融雪ヒータユニット』は、熱変換効率が高く、光（遠赤外線）による 輻射加熱が可能なハロゲンヒータを熱源とし、高い融雪効果を発揮する製品です。 複雑なシステムを必要としないので、導入コス…
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コンパクトかつ軽量設計でどこにでも容易に設置できるスポットタイプ！
『スポットヒータユニット』は、高効率反射ミラーとハロゲンヒータランプを 組み合わせ、熱線の指向性を高めた製品です。 コンパクトかつ軽量設計でどこにでも容易に設置できるスポットタイプ。 ご…
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シリコンウェハやガラスレンズの加熱に好適！サークルヒータユニット
3次元反射光シミュレーションを経て設計！優れた加熱均一性と昇温性能
『サークルヒータユニット』は、主にシリコンウェハの急速加熱や ガラスレンズの成形前加熱などに好適な製品です。 3次元反射光シミュレーションを経て設計された反射鏡とランプを 適切に配置。優れた…
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ユーザが求める温度、出力、寸法など！特性に合わせたランプ、ミラー形状、冷却方式を選定
『高出力ラインヒータユニット（オーダーメイド）』は、500℃を超える高温域での 光コントロールを可能にする高出力な製品です。 ユーザが求める温度、出力、寸法など、特性に合わせたランプ、ミラー形…
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ライン状の加熱や大面積への加熱に威力を発揮！ラインヒータユニット
加熱対象物の形状、照射範囲などから選択可能！ヒータユニットのご紹介
『ラインヒータユニット』は、ヒータランプとミラーを組み合わせ、 ライン状の加熱や大面積への加熱に威力を発揮する製品です。 寸法、特性を絞り込んで規格化したことで、コストパフォーマンスが高く、…
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ハロゲンヒータを点灯する場合に使用する点灯制御方式！代表的な2つをご紹介
赤外線ハロゲンヒーターの制御方法についてご紹介いたします。 ハロゲンヒータを点灯する場合に使用する点灯制御方式として、代表的なものは 「ソフトスタート機能付き位相制御方式」と「ゼロクロス機能付…
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「ハロゲンサイクル」で、バルブ壁の黒化を抑制！フィラメントの消耗を防止
赤外線ハロゲンヒータの波長・寿命についてご紹介いたします。 ピークの波長は2897÷色温度(K)で求めることができ、ハロゲンヒータの 色温度を変えることにより、さまざまな波長に対応することが可…
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用途と目的に合わせたカスタマイズが可能！ランプの特殊加工について
反射膜コーティングや真空対応加工など！ハロゲンヒータランプの加工についてご紹介
ランプの特殊加工では、熱の拡がりや強度分布、必要な波長、使用する環境など、 用途と目的に合わせたカスタマイズが可能です。 光（熱）の拡がりを変える場合では、「反射膜コーティング」、「熱分布設計…
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フライヤなどの食品加熱用の熱源にも好適！気密性を高めた二重管ヒーターランプ
『直管形二重管ハロゲンヒータランプQIRT』は、二重管構造で密閉性を 高めたことにより、水や薬液、油などの液体につけて、直接加熱することが できるランプです。 また、二重管構造は、ランプ破損…
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様々な設計要望に応えます！異形ハロゲンヒータランプ（コの字）
コの字、弓形など様々な形状、サイズの封体加工、フィラメント設計要望に対応！
当社で取り扱う『異形ハロゲンヒータランプ（コの字）』について ご紹介いたします。 目的の加熱プランに合わせて、コの字、弓形など、さまざまな形状、 サイズの封体加工、フィラメント設計要望に対応…
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真空対応などの加工が可能！円形状または、円形範囲への加熱が必要な場合に活用できます！
『サークル形ハロゲンヒータランプQIR Circle』は、シリコンウェハの 高温加熱装置などに好適なサークル状のランプです。 円形状または、円形範囲への加熱が必要な場合に活用できます。希望のサ…
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ガラス、建材などの加熱装置用熱源としても好適！さまざまなサイズ、特性に応じた設計
『直管型ハロゲンヒータランプQIR』は、線状加熱に加え、複数本並べて 使用することで、広い範囲を平面加熱することが可能です。 ガラス、建材などの加熱装置用熱源としても好適。短尺から長尺まで、 …
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「反射板を使わず、省スペースで加熱したい」などの目的に合わせて加工！
赤外線ハロゲンヒータの種類と特殊加工についてご紹介いたします。 加熱装置・ユニットに組み込む熱源として、目的、用途、使用環境に合わせて カスタマイズが可能。 加熱対象物の形状、照射範囲な…
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樹脂成形分野や半導体分野など！金型予備加熱や真空前水分除去に使用可能
『赤外線ハロゲンヒータ』は、優れた特性を活かして、樹脂成形分野をはじめ 自動車分野やPV分野、半導体分野など、さまざまな分野で利用されています。 シリコンやガラス、鋼鈑や炭素繊維などを加熱する…
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ハロゲンランプの寿命モデルとそれを押さえるための各種パラメーターの作用について解説！
ハロゲンランプが寿命となる主な原因は次のものである。 (1)黒化による照度低下 (2)フィラメント溶断 (3)サグによる コイルピッチ・ショート (4)シール部の故障 これらのうち、最初…
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ハロゲンガスの動作原理をはじめ、ハロゲン電球の特長や品種構成、使用材料等をご紹介！
10nm（10×10－9m）～10万nmの波長をもつ電磁波を「光」といい、 この波長域の電磁波を発生する放射体をすべて「光源」といいます。 わたしたちが、ふつうに光といえば、可視光線をさしてい…
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非接触なのでクリーン！高効率＆省エネルギー「フラッシュランプ」
高効率／省エネルギー！基板の熱ダメージを最小限に抑え、表層のみ加熱することが可能
大面積基板への一括照射による高スループットを実現可能な 『フラッシュランプ』についてご紹介します。 当製品による光加熱は、物質の持つ「反射」、「透過」、「吸収」の 特性のうち、「吸収」の特性…
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優れた昇降温性能！小型・クリーンな熱源「ハロゲンランプヒーター」
高効率なエネルギー源！加熱時間の短縮による処理能力の向上を実現します！
『ハロゲンランプヒーター』は、投入電力の85%以上を赤外線に変換、 放射する高効率なランプ式放射加熱源です。 消費電力の抑制は、ランニングコストの低減を実現。 熱容量の小さなタングステンフィラメン…
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光加熱の得意とする分野とプロセスは熱処理、DEGAS、反応、蒸着、乾燥になります！
物質を構成する分子は、常に振動を繰り返すことによって物質そのものの 温度を保っています。 そして、この運動に一定の光を照射するとさらに振動が大きくなり、 それに比例して発生する熱も多くなりま…
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大面積で一括照射・高照度での照射が可能！複数パルスの照射もできる加熱装置
『フラッシュランプアニール装置』は、1秒以内で瞬時に対象物を アニールする光応用加熱装置です。 UVから可視・赤外域までの連続波長を有したクセノンフラッシュランプの 光により、0.1～60m…
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高効率なエネルギー源！赤外線ハロゲンヒータなどの光加熱製品をご紹介
当カタログでは、赤外線ハロゲンヒータを中心に光加熱製品を 掲載しております。 広い範囲を平面加熱することができる直管形ハロゲンヒータランプ「QIR」、 シリコンウェハの高温加熱装置等に適した…
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ウシオの光で出来ること『高速昇降温加熱』
伝統と豊富な実績を持つウシオ社の 光加熱用光源の実用例（高速昇降温加熱）のご紹介です 【特徴】 ○使用光源：ハロゲンランプヒータ ○熱容量が小さく、3000K以上のフィラメントから照射され…
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ウシオの光で出来ること『加熱/成膜』
伝統と豊富な実績を持つウシオ社の 光加熱用光源の実用例（加熱/成膜）のご紹介です 【特徴】 ○使用光源：ハロゲンランプヒータ ○半導体・FPD・太陽電池などの製造プロセスにおける 金…
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ウシオの光で出来ること『不純物拡散』
統と豊富な実績を持つウシオ社の 光加熱用光源の実用例（不純物拡散）のご紹介です 【特徴】 ○使用光源：クセノンフラッシュランプ・ハロゲンヒータランプ ○半導体工程において、ソースドレインに…
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ウシオの光で出来ること 熱する『乾燥』
伝統と豊富な実績を持つウシオ社の 光加熱用光源の実用例（乾燥）のご紹介です 【特徴】 ○使用光源：ハロゲンランプヒータ ○ハロゲンランプヒータの非接触・クリーンで 高速昇温性を持つ光…
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ウシオの光で出来ること 熱する『接合』
伝統と豊富な実績を持つウシオ社の 光加熱用光源の実用例（接合）のご紹介です 【特徴】 ○使用光源：ハロゲンランプヒータ ○各種ヒートシンクの配管溶接にハロゲンヒータが採用 ○ハロゲンヒー…
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【事例紹介】RTP（ラピッドサーマルプロセス）
伝統と豊富な実績を持つウシオ社の 光加熱用光源によるRTPの事例紹介です。 かつての半導体熱処理は、ファーネス（断熱）が一般的だったが ナノオーダーのデバイスの場合、薄い膜形成や浅い接合が必…
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【事例紹介】成膜装置のプレヒート
統と豊富な実績を持つウシオ社の 光加熱用光源による、成膜装置のプレヒートの事例紹介です。 真空環境下においても非接触・高速昇温性を持った ハロゲンランプヒータを使用することにより 半導体・…
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【事例紹介】電極の焼成
伝統と豊富な実績を持つウシオ社の 光加熱用光源による、電極の焼成の事例紹介です。 ハロゲンヒータを使用することで、ハロゲンヒータが持つ 高速昇温性、配熱分布や放射波長により 基板や電極材料…
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【事例紹介】液体の保温・加熱
伝統と豊富な実績を持つウシオ社の 光加熱用光源による、液体の保温・過熱の事例紹介です 【特徴】 ○半導体製造ラインにおけるシリコンウェハの洗浄 液晶製造ラインにおけるガラス基板の洗浄な…
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【事例紹介】浴室乾燥
伝統と豊富な実績を持つウシオ社の 光加熱用光源による、浴室乾燥の事例紹介です 【特徴】 ○浴室乾燥機にハロゲンヒータを採用 ○ハロゲンヒータの光は輻射熱として照射されるため 温風タイ…
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食品の保温（加熱）
伝統と豊富な実績を持つウシオ社の 光加熱用光源による、食品の保温（加熱）の事例紹介です 【特徴】 ○ハロゲンランプヒータは点灯することで 可視光と赤外線、つまりあかりを照射するとともに…
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ウシオの光で出来ること『太陽電池製造用加熱光源』
ウシオ社の新エネルギー技術開発用光源 太陽電池製造用加熱光源の実用例のご紹介です 【特徴】 ○ハロゲンランプヒータによる「非接触による高速昇降温」は 焼成炉、CVD、スパッタリングなど…
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