掲載開始日:2024-10-15 00:00:00.0
◆HTEヒーター◆ 高真空るつぼ加熱ヒーター Max1500℃
- HTEヒーター/OLED有機蒸着・高温金属蒸発源
- OLED-10cc
HTEヒーターは最高使用温度1500℃の真空装置用高温加熱ヒーターです。
蒸発温度の高い材料も蒸発することができますので、低温有機蒸着(~ 800℃)セルから高温抵抗加熱蒸着(~ 1500℃)MBEセルまで、真空高温ヒーター・蒸着セルとして幅広い様々な用途に活用頂けます。
シャッター・アクチュエータ、水冷ジャケットも用意。
800℃以上の高温ヒーター仕様は、内部シールドを備え、断熱・熱遮蔽を考慮した設計。
【主仕様】
■最高制御温度:800℃、又は1500℃
■使用環境:真空中・不活性ガス(*O2 は800℃まで)
■ヒーター:タングステンフィラメント
■るつぼ容積:1cc(最大充填量1.5cc)
■るつぼ材質:アルミナ
■ケース材質:SUS304, 又はモリブデン
■熱電対:K、又はC
【オプション】
⚫︎るつぼ材質:PBN, グラファイト, 石英
⚫︎ヒーター:NiCr 線, カンタル線(*O2 用)
⚫︎るつぼ容積:10cc(最大充填量15cc)
⚫︎シャッター:空圧式, 又はモーター駆動
⚫︎水冷ジャケット
⚫︎コントローラー(ヒーター・シャッター制御)
関連資料
- HTE-OLED_2024.8.pdf[901KB]
関連リンク
真空用 高温るつぼ加熱ヒーター。有機蒸着源800℃、高温金属蒸着源1500℃としても利用できるバーサタイルなヒーターユニット
取扱会社
【営業品目】 1. CVD・PVD真空薄膜実験用超高温基板加熱ヒーター 2. 真空薄膜実験装置 3. 超高温実験炉 4. 赤外線放射温度計 5. 真空コンポーネント 6. カスタムメイド装置
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