掲載開始日:2022-08-08 00:00:00.0
フッ素系溶媒対応チラー<ペルチェ式・冷凍機式>
フッ素系溶媒は絶縁性が高いため、半導体製造装置や各種測定装置の
温調用循環液として広く使用されています。
また不燃性・不活性で安全性が高いため、クリーンルーム内の装置の
冷却にも適しています。
このフッ素系循環液には、専用に設計されたチラーがございます。
<ペルチェ式チラー>
■ThermoRack1201/1801
■ThermoCube
■NIKOLA3K/5K
<冷凍機式チラー>
■M-75HFE
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