素早いポンプダウンと膜質の向上にお役に立ちます
素早い冷却、素早い昇温
蒸着装置の水分を効果的に取り除くことは、真空蒸着にとって必須の課題です。TELEMARKのクライオチラーシリーズは最新の技術進歩を取り入れたクライオチラーです。
基本情報TELEMARK クライオチラー
TELEMARKクライオチラーシリーズは、
・クールダウンが早くサイクルタイムを短縮できます
・ 小さいフットプリント
・ 速いデフロストが可能
・ デジタル制御
・ 2系統の並列経路の冷却が可能、完全独立制御
| 価格帯 | 100万円 ~ 500万円 |
|---|---|
| 納期 | お問い合わせください |
| 型番・ブランド名 | TELEMARK クライオチラー |
| 用途／実績例 | 真空蒸着装置、スパッタリング装置、スペースチャンバー、電子ビーム溶接装置等 |
ラインナップ
| 型番 | 概要 |
|---|---|
| クライオチラー1200 | 1,200W, 65,000L/s, 193kg |
| クライオチラー1800 | 1,800W, 100,000L/s, 243kg |
| クライオチラー2400 | 2,700W, 135,000L/s, 243kg |
| クライオチラー3000 | 3,000W, 165,000L/s, 384kg |
| クライオチラー3600 | 3,600W, 200,000L/s, 412kg |
| クライオチラー4800 | 4,800W, 200,000L/s, 449kg |
取扱企業TELEMARK クライオチラー
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