高精度直動アクチュエータ『ミリオンアクチュエータ』アイセルグループ

従来比３倍の繰返し精度！位置決め精度±１μｍを実現した高精度アクチュエータ

『ミリオンアクチュエータ』は、位置決め精度 ±1μmを実現したリニアアクチュエーターです。ガイド部にローラー式ミリオンガイドを採用しているため、他社ボールガイド採用のアクチュエータと比べ、剛性が 10 倍以上!また、振動も少なくなめらかなため、XY 方向繰り返し精度も3倍以上！ステッパーなど、各種光学機器のレンズ・ミラー移動や微少角度調整、カメラ・センサの位置調整といった微調整用途に最適です。

【ミリオンアクチュエータの特長】
■繰り返し位置決め精度 ±1μm を実現！
■ローラー式ガイドを採用しているため、振動が少なくなめらかで、XY 方向繰り返し精度は従来品と比較して 3 倍以上！
■省スペース＆一体構造のため、装置設計の時間短縮に貢献！

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基本情報高精度直動アクチュエータ『ミリオンアクチュエータ』

【用途】
■スラッパー等各種光学機器のレンズ・ミラー移動、微少角度調整
■アライメントステージのX・Y・θ軸の調整
■カメラ、センサーの位置調整
■顕微鏡、望遠鏡のレンズ・ミラー調整
■テーブルの位置決め
■半導体、液晶製造装置
■各種自働機、試験装置　など

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