局所的なエッチング領域を形成！走査することによる高精度形状創成
『MS-3030LWE』は、局所的な液相エッチング領域を速度制御走査する
ことにより任意な形状創成を行うことができる数値制御ローカルウェット
エッチング装置です。
非接触な化学的無歪加工法なので、振動などの外乱に対して鈍感。
加工量は、エッチャントの滞在時間及と温度によってナノメータオーダーの
加工精度で正確に制御でき、任意形状を創成できます。
【特長】
■非接触加工
■化学的無歪加工
■ナノメータオーダーの加工精度
■5軸NC制御により任意形状創成
※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
基本情報エッチング装置『MS-3030LWE』
【主な仕様】
■装置構成
・装置本体(クリーンルーム対応)
・操作パネル部(クリーンルーム対応)
■加工対象物：合成石英・Si・SOLウェハ・水晶ウェハ
■主制御部：5軸NC制御
■テーブルスクロール
・X軸：350mm
・Y軸：350mm
・Z軸：100mm
・a軸：±25°
・b軸：12rpm(max) など
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| 価格帯 | お問い合わせください |
|---|---|
| 納期 | お問い合わせください |
| 用途／実績例 | ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。 |
カタログエッチング装置『MS-3030LWE』
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