株式会社ジェーイーエル クリーンロボット『SSCR2090Sシリーズ』
- 最終更新日：2016-12-09 16:02:56.0
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小径ウエハ用のクリーンロボット！
『SSCR2090Sシリーズ』は、スーパークリーンルーム用2軸円筒座標型
クリーンロボットです。
小フットプリント化と軽量化により、半導体製造装置内部、検査装置及び
LED製造装置等の小型ウエハ搬送に適し、装置レイアウトを小型化
できます。
他にも当社では、さまざまなクリーンロボットを取り扱っておりますので、
是非お気軽にご相談下さい。
【特長】
■可搬重量はアーム第3関節換算0.1kgf以下(ワークのみ)
■動作モニター装備
■制御方式はRS232C及びパラレルフォトI/O
■全軸2相ステッピングモータ使用
■S字加減速制御によりウエハを高速、高精度に搬送
※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
基本情報クリーンロボット『SSCR2090Sシリーズ』
【その他の特長】
■SSCR3115S-150-PMとはユニット互換があり、リンクアーム仕様、Z軸付仕様にも変更可能
■真空吸着、落し込みでウエハ保持
■チャック材質はCFRP、アルミニウム、セラミックス等各種対応可能
■被搬送物、装置レイアウトに合わせた最適チャックでの対応可能
※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
| 価格帯 | お問い合わせください |
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| 納期 | お問い合わせください |
| 用途／実績例 | 【用途】 ■半導体製造装置内、検査装置及びLED製造装置などの小型ウエハ搬送 など ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。 |
カタログクリーンロボット『SSCR2090Sシリーズ』
取扱企業クリーンロボット『SSCR2090Sシリーズ』
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電子機器製造販売
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