【分析事例】TDSによる腐食性ガス分析一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

製品に悪影響を及ぼすガスを確認できます

エッチングガス等の腐食性ガスは、半導体や電子部品、装置等の劣化に大きな影響を与えます。
以下に、TDS(昇温脱離ガス分析法)を用いて腐食性ガスを捉えた事例を示します。腐食性ガスであるHClが、試料の昇温に伴って脱離することが確認されました。
TDSは昇温しながらm/z 2～199の脱ガスを捉えられることから、腐食性ガスの種類や量、脱離の温度依存性を調査するのに有効です。

基本情報【分析事例】TDSによる腐食性ガス分析

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用途／実績例	LSI・メモリ・電子部品・製造装置・部品の分析です

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