超高精度・高剛性直動アクチュエータ『ミリオンアクチュエータ』アイセルグループ

1μmの剛性・送り精度・直進性を兼ね備えたアクチュエータ

本製品は、高精度な微小直動送りが必要とされる光学機器のレンズ・
ミラー移動、微小角度調整や半導体製造装置のアライメントステージ
X・Y・θ軸調整部などに用いられる直動アクチュエータです。

ガイド部には非開放型ローラ式ガイド「ミリオンガイド」の活用と
独自構造の開発により、サブミクロン単位での超高精度微小送りと
高速送りの両立化を実現。

お客様の要望に合わせてストロークの長短・スケールフィードバック・
モータの変更などのカスタム対応も行っております。

【特長】
■小型化
■高速化
■超高精度微小送り

※詳しくはPDFをダウンロードして頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。

関連リンク - http://isel.jp

基本情報超高精度・高剛性直動アクチュエータ『ミリオンアクチュエータ』

【製品仕様例】
■型式：GMA2010M
■取付角：20×20mm
■有効ストローク：10mm
■送り速度：10mm/sec（モーター600min-1時）
■質量：約0.25kg

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型番・ブランド名	ミリオンアクチュエータ
用途／実績例	【用途】 ■ステッパー等各種光学機器のレンズ・ミラー移動、微少角度調整 ■アライメントステージのX・Y・θ軸の調整 ■カメラ、センサーの位置調整 ■顕微鏡、望遠鏡のレンズ、ミラー調整 ■テーブルの位置決め ■半導体、液晶製造装置 ■各種自動機、試験装置　等 ※詳しくはPDFをダウンロードして頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。