ゲミュージャパン株式会社 アプリケーション例『集積回路製造プラントのウェットプロセス』
- 最終更新日:2023-09-26 09:59:25.0
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腐食性ケミカルに最適なバルブをご提案
GEMÜのバルブ,計測器,制御システムはウェットプロセスに使われるような腐食性ケミカルに接しても素材の溶出を起こさず,流体の純度を高いまま保持します。
GEMÜ社よりPFA製のダイアフラムバルブ,ブロックバルブ,圧力計,超音波流量計が提案できます。
基本情報アプリケーション例『集積回路製造プラントのウェットプロセス』
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用途/実績例 | 【用途/実績例】 ・ウェハーの洗浄 ・ウェハーのエッチング工程 ・ウェハーのコーティング工程 |
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