ゲミュージャパン株式会社 用途例『マイクロエレクトロニクスにおけるスラリーシステム』

CMPスラリーに最適なバルブのご提案

CMPスラリーのアプリケーションには極めて厳しい仕様要求があります。GEMÜのコンポーネントはその要求を満たしながら,流量を最大化する構造を持ち,研磨性スラリーを安全に運びます。

このアプリケーションには,GEMÜよりPFA製のダイアフラムバルブ,グローブバルブ,計測器,フィッティングチューブをご提案できます。

基本情報用途例『マイクロエレクトロニクスにおけるスラリーシステム』

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

価格帯 お問い合わせください
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用途/実績例 【用途/実績例】
・CMPスラリーの混合
・デバイス間のスラリー輸送
・工程ごとのスラリー供給

カタログ用途例『マイクロエレクトロニクスにおけるスラリーシステム』

取扱企業用途例『マイクロエレクトロニクスにおけるスラリーシステム』

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ゲミュージャパン株式会社

【メインマーケット】 ◇医薬品・バイオテクノロジー産業 ◇食品・飲料産業 ◇化学工業・環境技術 ◇エネルギー産業 ◇水処理産業 ◇プロセス産業 ◇マイクロエレクトロニクス・半導体産業 ◇医療技術 【取扱製品】 ■ダイアフラムバルブ(ダイヤフラムバルブ) ■アングルシートバルブ ■マルチポートブロックバルブ その他、ボールバルブ・バタフライバルブ等の汎用バルブに加え、 制御機器(ポジショナー、プロセスコントローラー)、電磁弁等も提供します。

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