用途例『マイクロエレクトロニクスにおけるスラリーシステム』ゲミュージャパン

CMPスラリーに最適なバルブのご提案

CMPスラリーのアプリケーションには極めて厳しい仕様要求があります。GEMÜのコンポーネントはその要求を満たしながら,流量を最大化する構造を持ち,研磨性スラリーを安全に運びます。

このアプリケーションには,GEMÜよりPFA製のダイアフラムバルブ,グローブバルブ,計測器,フィッティングチューブをご提案できます。

基本情報用途例『マイクロエレクトロニクスにおけるスラリーシステム』

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用途／実績例	【用途/実績例】・CMPスラリーの混合・デバイス間のスラリー輸送・工程ごとのスラリー供給

カタログ用途例『マイクロエレクトロニクスにおけるスラリーシステム』

高純度ケミカルと半導体製造プロセスのコンポーナントとシステムソリューション

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取扱企業用途例『マイクロエレクトロニクスにおけるスラリーシステム』

ゲミュージャパン株式会社

【メインマーケット】 ◇医薬品・バイオテクノロジー産業 ◇食品・飲料産業 ◇化学工業・環境技術 ◇エネルギー産業 ◇水処理産業 ◇プロセス産業 ◇マイクロエレクトロニクス・半導体産業 ◇医療技術【取扱製品】 ■ダイアフラムバルブ（ダイヤフラムバルブ） ■アングルシートバルブ ■マルチポートブロックバルブその他、ボールバルブ・バタフライバルブ等の汎用バルブに加え、制御機器（ポジショナー、プロセスコントローラー）、電磁弁等も提供します。