クリーンドライエア供給装置『CDASSシリーズ』高砂熱学工業

水分を徹底除去！ガス状汚染物質を除去した安価でクリーンなドライエアを供給します

当社が取り扱う、クリーンドライエア供給装置『CDASSシリーズ』を
ご紹介します。

水分を徹底除去、さらにNH3、SOx、有機ガスなどのガス状汚染物質を
除去した、安価でクリーンなドライエアを供給します。

超低露点清浄空気供給システム「CDASS-100」や、可搬型クリーン
ドライエア供給装置「CDASS-mini」などをご用意しております。

【CDASS-mini 特長】
■熱源設備を組み込んだオールインワンパッケージ
■電源接続のみでCDAを製造・供給
■実績のある除湿ロータを使用
■圧縮空気（圧力スイング方式）と比べて低コスト
■窒素ガス方式と比べてもより安価で安全

※詳しくは関連リンクページをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

関連リンク - https://www.tte-net.com/solution/cdass.html

基本情報クリーンドライエア供給装置『CDASSシリーズ』

【CDASS-100 特長】
■除湿ロータを三段直列に用いて、超低露点空気を供給
■露点温度-100 ℃（8.7wt ppb ）以下の空気でかつ有機・NOxを含む無機のガス状汚染物質と
　塵埃を除去したクリーン・ドライエア（CDA）を供給
■除湿ロータを使用し、安価にCDAを製造・供給
■ランニングコストは、圧縮空気（圧力スイング方式）と比較して1/5～1/10
■窒素ガス方式に比べ窒息の心配なし
■15～30m3/minの大風量のCDAを大気圧で供給

※詳しくは関連リンクページをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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用途／実績例	【CDASS-mini 用途例】 ■電子デバイス製造装置の基板搬送用エアベアリングへの供給空気 ■空気中に含まれる水分やケミカルコンタミネーションを嫌う製品 ■研究開発や試作ラインで窒素ガスの代替として ■レチクルのHaze防止 ■レンズの曇り防止 ■ウェハ自然酸化膜防止 ■真空装置内部の水分付着防止 ■有機EL製造ライン ※詳しくは関連リンクページをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。