【半導体ガス】 WUC-1x 圧力トランスデューサビカ・ジャパン

【半導体ガス　高純度ガス　圧力センサ】【超クリーン性能　高精度】【納期2-2.5ヶ月間】*短納期対応可

本製品は出荷前に100%試験を行い、SEMI 規格に準拠した漏れ、過圧、精度、クリーン度の試験を行い、出荷いたします。

<特徴>
・防爆認証　ATEX, IECEx, (KOSHA)
・保護等級 IP67(NEMA 4)　
・外部ゼロ調整機能付き
・EMC性能
・優れた温度補償性能

<製品基本スペック>
圧力レンジ（最小）　-0.1...0.1 MPa
圧力レンジ（最大）　-0.1...36.0 MPa
安全超過圧　　　　　圧力レンジ×2倍
受圧部材質　　　　　プロセスコネクション：316L VIM/VAR
　　　　　　　　　　薄膜センサー： 2.4711 / UNS R30003
表面仕上げ　　　　エレクトロポリッシュ加工
　　　　　　　　　 Ra ≤ 0.13 μm (RA 5); max. Ra ≤ 0.18 μm (RA 7)
出力信号　　　　　　4 ... 20 mA, DC 0 ... 5 V, DC 0 ... 10 V,
総合精度　　　　　　0.5% ( 0.2MPa以下では、1.0%)

基本情報【半導体ガス】 WUC-1x 圧力トランスデューサ

半導体ガス・高純度ガスの圧力センサ/圧力トランスデューサ

価格帯	1万円 ~ 10万円
納期	お問い合わせください ※短納期対応ご相談下さい
型番・ブランド名	WUC-1x シリーズ　圧力センサ/圧力トランスデューサ
用途／実績例	・半導体製造装置・プラズマディスプレイ製造装置・ガス集積ユニット・ガスキャビネット・バルブマ二ホルド・高純度ガス圧力測定・半導体特殊ガス圧力測定