多様なウエハ、様々な工程に対応する製品を豊富にラインアップ！
当製品は、進化を続ける半導体産業の基盤であるウエハをクリーンかつ
安全に移送する容器です。
50-300mmまでのウエハサイズ、ガラス、化合物などの多様な材質や、
近年増加している薄物ウエハにも豊富なラインアップを保有。
有機無機の汚染やパーティクルの発生が極めて少なく、振動・衝撃にも強い、
信頼性の高いウエハ輸送容器を提供してまいります。
【特長】
■落下・振動にも強い独自のクッション構造を採用
■ガスケット構造の採用により、優れた気密性を確保
■シンプルな部品構成で取扱操作や組立・分解も容易
■視認性がよく、収納されたウエハの状況が確認できる
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
基本情報半導体ウエハ搬送容器
【ラインアップ】
■Σ-Series
■SS-Series
■CB-Series
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| 価格帯 | お問い合わせください |
|---|---|
| 納期 | お問い合わせください |
| 用途／実績例 | ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 |
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