空気・ガス類の一般流体制御用に設計された小形タイプの直動形2方向比例制御電磁弁
非常にコンパクトで高精度、長寿命。標準的なON/OFF電磁弁とは違い、0〜100%の間で自由に流量調節が可能なため、比例制御のために複数使用中の電磁弁をこれ一台で置き換え可能です。温度センサや流量センサからのフィードバックでクローズドループ制御も可能です（オプションのコントローラ使用時）。マスフローの代替にも適しています。
基本情報高精度・長寿命・小形 2方向比例制御電磁弁
空気・ガス類の一般流体制御用に設計された小形タイプの直動形2方向比例制御電磁弁です。非常にコンパクトで高精度、長寿命。
標準的なON/OFF電磁弁とは違い、0〜100%の間で自由に流量調節が可能なため、比例制御のために複数使用中の電磁弁をこれ一台で置き換え可能です。
温度センサや流量センサからのフィードバックでクローズドループ制御も可能です（オプションのコントローラ使用時）。
[仕様]
制御流体：空気・ガス
配管口径：M5、G1/8
Cv値：0.0003〜0.11
ヒステリシス：<3%
再現性：<1%
感度：<1%
■1NL/minレベルの微小流量制御が可能。
■オープンループでヒステリシス3%以下、再現性・感度1%以下の高精度。
■真空制御にも対応可能（オプション）。
■コンパクトで長寿命。
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| 型番・ブランド名 | プレシフロー |
| 用途／実績例 | 塗装機械のエア制御 半導体の真空蒸着装置 酸素濃縮器 CO2インキュベーター マスフロー代替 |
カタログ高精度・長寿命・小形 2方向比例制御電磁弁
取扱企業高精度・長寿命・小形 2方向比例制御電磁弁
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