【事例紹介】RTP（ラピッドサーマルプロセス）
伝統と豊富な実績を持つウシオ社の
光加熱用光源によるRTPの事例紹介です。
かつての半導体熱処理は、ファーネス（断熱）が一般的だったが
ナノオーダーのデバイスの場合、薄い膜形成や浅い接合が必要となり
アイソサーマルの代名詞ともなっているRTPがキーテクノロジーとなっています。
また、次世代半導体においては、熱流束技術として
フラッシュランプアニールが主流となっています。
●その他機能や詳細については、お問合わせ下さい。
基本情報【事例紹介】RTP（ラピッドサーマルプロセス）
伝統と豊富な実績を持つウシオ社の
光加熱用光源によるRTPの事例紹介です。
かつての半導体熱処理は、ファーネス（断熱）が一般的だったが
ナノオーダーのデバイスの場合、薄い膜形成や浅い接合が必要となり
アイソサーマルの代名詞ともなっているRTPがキーテクノロジーとなっています。
また、次世代半導体においては、熱流束技術として
フラッシュランプアニールが主流となっています。
●その他機能や詳細については、お問合わせ下さい。
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