【事例紹介】成膜装置のプレヒート
統と豊富な実績を持つウシオ社の
光加熱用光源による、成膜装置のプレヒートの事例紹介です。
真空環境下においても非接触・高速昇温性を持った
ハロゲンランプヒータを使用することにより
半導体・FPD・太陽電池などの成膜工程において
タクトタイム短縮に貢献することができる
●その他機能や詳細については、お問合わせ下さい。
基本情報【事例紹介】成膜装置のプレヒート
統と豊富な実績を持つウシオ社の
光加熱用光源による、成膜装置のプレヒートの事例紹介です。
真空環境下においても非接触・高速昇温性を持った
ハロゲンランプヒータを使用することにより
半導体・FPD・太陽電池などの成膜工程において
タクトタイム短縮に貢献することができる
●その他機能や詳細については、お問合わせ下さい。
| 価格情報 | - |
|---|---|
| 納期 | お問い合わせください |
| 用途／実績例 | 詳細は、お問い合わせ下さい。 |
カタログ【事例紹介】成膜装置のプレヒート
取扱企業【事例紹介】成膜装置のプレヒート
【事例紹介】成膜装置のプレヒートへのお問い合わせ
お問い合わせ内容をご記入ください。
