日本エム・ケー・エス株式会社 隔膜式真空計（バラトロン真空計）
- 最終更新日：2023-08-04 17:28:07.0
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150℃/200℃対応！バイオ医薬品製造に最適な隔膜式真空計。
高温制御型の真空計で長年の実績を持つMKSが提供する最新モデル
コンパクトな一体型、省電力を実現
基本情報隔膜式真空計（バラトロン真空計）
150℃/200℃対応！ バイオ医薬品製造、半導体製造プロセスに最適なバラトロン真空計
バラトロン631Bは、高温制御型真空計を10年以上にわたり供給してきたMKSの最新コンパクトモデルです。
センサ内部を高温に保持し、プロセス副生成物のセンサへの堆積を防止することにより、ドリフトを低減し精確で長期安定性を持つ圧力測定を実現します。
150℃もしくは200℃の温度制御を選択できる631Bは、メタルエッチング、ナイトライドCVD、ALDなど、厳しい条件の半導体製造プロセス用真空計としての用途の他、バクテリア増殖を防止する目的で蒸気を用いる、凍結乾燥装置、滅菌装置などのバイオ製薬プロセスに最適です。
特徴
●最小フルスケールレンジ：133×10E-2Pa
●最大フルスケールレンジ：133×10E5Pa
●精度：読み値の0.50％
●±15VDC入力電源のみで稼動、省電力（最大1.0A)
●外部から調整可能なリレー機能内蔵（オプション）
| 価格情報 | - |
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| 納期 | お問い合わせください |
| 型番・ブランド名 | バラトロン真空計 ６３１Ｂ |
| 用途／実績例 | ・厳しい条件の半導体製造プロセス用真空計としての用途 ・バクテリア増殖を防止する目的で蒸気を用いる、凍結乾燥装置、滅菌装置などのバイオ製薬プロセス など |
取扱企業隔膜式真空計（バラトロン真空計）
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半導体、FPD、バイオ医薬、医療、その他の最先端生産技術プロセスの重要なパラメータを制御する計測機器、コンポーネントおよびサブシステムを提供しています。幅広い製品ラインナップ、世界最高水準の性能とノウハウで生産性向上へのトータルソリューションを提供しています。 真空計、圧力制御機器、ガス流量制御機器、ＲＧＡ、プロセスモニター、ＦＴＩＲ、真空バルブ、真空配管用ヒーター、トラップ、ＲＦ電源、ＤＣ電源、反応性ガス発生器、マイクロ波電源、多変量解析ソフトウェアの製造・輸入・販売・サービス。
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