一般財団法人材料科学技術振興財団 MST [AES]オージェ電子分光法
- 最終更新日:2016-09-12 09:48:32.0
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AESは、電子線照射により放出されるオージェ電子の運動エネルギー分布を測定し、試料表面(数nm程度の深さ)に存在する元素の種類・存在量に関する知見を得る手法です。
・固体材料の表面(深さ数nm)の定性・定量が可能
・微小領域(数十nm~サブミクロン程度)の定性・定量が可能
・主成分元素の深さ方向分析・線分析・面分析の測定が可能
・SiやAl等、幾つかの元素については酸化物状態及び金属状態の評価が可能
・SEM像による着目箇所の特定が可能
基本情報[AES]オージェ電子分光法
AESは電子線照射により発生するオージェ電子をエネルギーで分光し、検出します。オージェ電子のエネルギーは元素固有なので、試料を構成する元素の同定が行えます。また、強度から組成に関する情報が得られます。
価格情報 | - |
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納期 | お問い合わせください |
用途/実績例 | ・金属多層膜の相互拡散評価 ・各種金属の酸化膜評価 ・特殊形状(球体、内壁等)の組成評価 ・電池材料の元素分布評価、劣化評価 ・デバイス上の数十nm~サブミクロン程度の異物評価 ・断面加工併用による層間異常部の評価 ・割断面の層構造、元素分布評価 |
詳細情報[AES]オージェ電子分光法
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カタログ[AES]オージェ電子分光法
取扱企業[AES]オージェ電子分光法
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