EBSD分析（電子後方散乱回折法）一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

容易に広い領域の結晶情報を得ることが可能

EBSDを利用して結晶性試料の方位解析ができる手法です。
電子回折法より容易にかつ広い領域の結晶情報を得ることができます。
EBSP：Electron Backscatter Pattern、SEM-OIM、OIMとも呼ばれます。

・単一結晶粒の面方位の測定が可能
・測定領域の配向測定が可能
・結晶粒径観察が可能
・双晶粒界（対応粒界）観察が可能
・特定結晶方位の抽出が可能
・隣接結晶粒の回転角の測定が可能
・透過法により10nm以上のグレインを評価可能

基本情報EBSD分析（電子後方散乱回折法）

約60～70°傾斜した試料に電子線を照射すると、試料表面から約50nm以下の領域の各結晶面で回折電子線が作られます。この後方散乱電子回折を解析することで結晶性試料の方位解析の情報が得られます。

価格情報	-
納期	お問い合わせください
用途／実績例	・CIGS膜（多結晶太陽電池）の結晶粒評価・SEM装置で格子歪み測定・半導体デバイス金属配線の結晶粒観察・ボイド周辺の結晶粒界の調査・ポリSi TFTの結晶解析・合金層中不明層の結晶性評価・断面からのウイスカの配向測定・金属材料の成長（成膜）技術における最適条件の探索・金属薄膜経時変化の解析

詳細情報EBSD分析（電子後方散乱回折法）

: まずはご相談ください
★分析プランのご提案から行います★
御社へ伺ってのお打ち合わせも、もちろん可能。
分析結果のご説明も丁寧に行い、疑問を残しません。
まずは03-3749-2525またはinfo@mst.or.jpまでご連絡ください！

: 訪問セミナー実施します
★お客様のニーズに合わせた技術者訪問のセミナーを無料で承っております★
お客様のご要望に応じて、分析技術のご紹介や分析データのご説明をいたします。

◆セミナー内容例
・MSTの分析手法を広く解説
・特定の分析手法を原理からじっくり、詳しく解説
・お客様がご依頼の分析データを解説

03-3749-2525またはinfo@mst.or.jpまでご連絡ください！

カタログEBSD分析（電子後方散乱回折法）

EBSD分析（電子後方散乱回折法）

PDFダウンロード電子ブックをすべて見る

取扱企業EBSD分析（電子後方散乱回折法）

一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

受託分析サービスで、研究開発を行う皆様をサポートします！半導体・金属・電池などのエレクトロニクス材料や、医薬品・化粧品・食品・環境などのライフサイエンス分野に幅広く対応。 SIMS・TEM・XRD・ICP-MS・GC/MS・AES・SEM・EPMA・EELSなど、さまざまな分析装置を保有し、分析ニーズに応えます。まずはご相談下さい。 ◆事業領域◆ 1. 科学技術分野における材料に関する基礎的研究及び解析・評価。 2. 半導体、生理学生化学、バイオ関連分野及び各種先端的分野についての基礎的研究及び解析・評価。 3. １、２号に掲げる国内外における関連分野の研究機関又は個人に対する表彰及び支援。 4. １、２号に掲げる研究成果等の出版または出版の支援。 5. １、２号に掲げる国内外における関連分野の調査。 6. １、２号に掲げる国内外における関連分野に関する研修の実施及び支援または研修所の運営。 7. その他目的を達成するために必要な事業。