MINCO社製フレキシブル面状ヒーター【軽量・種類豊富】

極薄・軽量で様々な場所に取り付け可能。フレキシブル面状ヒーター

ミンコ社のヒーターは、発熱抵抗素材をエッチング技術によってエレメントパターン化し、フレキシブルな絶縁材シートでラミネートしています。非常に薄く、軽量ですので様々な場所に取り付け可能です。また、熱をより均一にするために、一枚のヒーター上でエレ...

メーカー・取り扱い企業： ジャパンマシナリー株式会社

Honeywell製　圧力センサー　HSCシリーズ　デジタル出力

弊社はハネウェル社の販売店として、お客様のニーズにお応え致します。

化学的にエッチングされた薄いシリコンダイヤフラムの表面に埋め込まれた4つのピエゾ抵抗体で構成される計測素子があり、出力される電気信号が圧力に比例して変化します。 ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社アイテクソリューション

アプリケーション例『純水・超純水製造：超純水（UPW）』

超純水（UPW）の供給用バルブと流量計をご提案

超純水（UPW）は,半導体や太陽電池用ウェハーの製造工程で多く使用されます。 ウェハー表面に付着した研磨剤は洗浄工程で除去され,最終工程で超純水によって再度洗浄されます。 その後のエッチング工程で発生した残留物を除去するためにも超純水による洗浄が必要となります。 このような製造工程中のウェハー表面を清浄に保つことが,発電効率を最大限に発揮することにつながります。 当社で...

メーカー・取り扱い企業： ゲミュージャパン株式会社

『真空プラズマ照射装置』

細胞と接する面を細胞にやさしく表面改質！親水・疎水基の密度コントロール

な条件で処理が可能です。 様々な材料に対し、目的に最適なプラズマ照射条件を見出します。 また、受託処理も承っております。 【特長】 ■強力で均一な照射が可能で処理ムラがない ■エッチング効果が少なく、材料への物理的ダメージがほとんどない ■高密度の官能基が生成でき、接着剤を用いない直接接合が可能 ■官能基の退行が極めて少ない ■ガス使用量が極めて少ない ※詳しくはP...

メーカー・取り扱い企業： エステック株式会社

半導体向け装置「CMP処理後スクラブ洗浄装置」

ご要望に対応した装置を設計製作！CMP処理後のスクラブ洗浄装置

後スクラブ洗浄装置 ○手動洗浄装置 ○JET-RINCER-DRYER ○IPA-VAPOR-DRYER ○ワンサイクル式洗浄機・水切り乾燥機 ○ワープ洗浄装置 ○ブラシ洗浄機 ○エッチングドラフト ○メッキ装置 ○スピンドライヤー、スピン洗浄機 ○卓上型エアーブロー ○薬液供給装置 ○純水装置（ろ過装置） ○高速プレス下死点制御コントローラー ●詳しくはお問い合...

メーカー・取り扱い企業： ヴァリアス株式会社

UV/O3洗浄改質装置『SKシリーズ』

FPDガラス基板表面洗浄をはじめ幅広い用途に適応します！

『SKシリーズ』は、真空チャンバーやポンプなどの真空設備を必要とせず 大気中で処理が可能なUV/O3洗浄改質装置です。 化学薬品を使用するエッチングとは異なり、UVとオゾンの作用によって 処理を行うので製品表面を粗化することなく接着性を向上させます。 また、低圧水銀ランプバルブは様々な形に加工でき ワークのサイズや形状に応じた光源...

メーカー・取り扱い企業： サンエナジー株式会社

WETプロセス装置　LCD枚葉エッチング装置

LCD用基板を水平搬送にて、エッチング・シャワー洗浄、乾燥処理を行いま…

WETプロセス装置 LCD枚葉エッチング装置は、LCD用基板を水平搬送にて、エッチング・シャワー洗浄、乾燥処理を行います。 株式会社電子技研の洗浄等のスピンをはじめとするWET装置技術は、ウエハ・ガラス基板等をはじめ、プリント基板、...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社電子技研

洗浄装置「エッチングドラフト」

配管PFA溶着配管！曲げ加工にも対応した洗浄機

「エッチングドラフト」は、外装PVCランニング仕様の洗浄機です。 各薬液に対応したタンク、配管PFA溶着配管、曲げ加工にも対応可能。 また、薬液調合内蔵可能です。ご要望に対応した装置を設計製作します。 ...

メーカー・取り扱い企業： ヴァリアス株式会社

WETプロセス装置　マルチスピンプロセッサー

スピン＆スプレーを併用し、高精度で均一なプロセスを実現しました。

WETプロセス装置 マルチスピンプロセッサーは、基板をスプレー方式にて現像/エッチング/乾燥処理を行ないます。 株式会社電子技研の洗浄等のスピンをはじめとするWET装置技術は、ウエハ・ガラス基板等をはじめ、プリント基板、金属基板等の洗浄、その他多用途で半導体・LCD業界、医療業...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社電子技研

事例:Particle-PLUS:GEC-CCP装置プラズマ解析

Particle-PLUS解析事例紹介「GEC-CCP装置のプラズマ解…

代表的なドライエッチング手法のひとつである、CCP（容量結合プラズマ）エッチングに関する3Dでの解析事例です。 Particle-PLUSは真空チャンバ内のプラズマ解析を得意としており、 高速にエッチング率などの...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ウェーブフロント 本社

【事例】Particle-PLUS:CCPによるクリーニング処理

Particle-PLUS解析事例紹介「CCPによるクリーニング処理」…

代表的なドライエッチング手法のひとつである、CCP（容量結合プラズマ）エッチングに関する解析事例です。 Particle-PLUSは真空チャンバ内のプラズマ解析を得意としており、 高速にエッチング率などのシミュレーシ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ウェーブフロント 本社

真空蒸着装置『MiniLab-026』

小型、省スペース! 研究開発に最適 蒸着・スパッタ・アニール等目的に合…

した、フレキシブルR&D用薄膜実験装置です。 マグネトロンスパッタ（最大3源）もしくは抵抗加熱蒸着（金属源 最大4、有機材料x4）に対応します、又基板加熱ステージを設置しアニール装置、プラズマエッチングも製作可能。 グローブボックス収納タイプもございます（*要仕様協議）。 フレキシブルにカスタマイズが可能な豊富なオプション部品を揃えております。 ◉ 最大基板サイズ：Φ6inch ◉ 抵...

メーカー・取り扱い企業： テルモセラ・ジャパン株式会社

【事例】『Particle-PLUS』CCPでのクリーニング処理

代表的なドライエッチング手法のひとつである CCP（容量結合プラズマ…

『Particle-PLUS』は プラズマを用いた装置・材料・デバイス研究・開発・製造に適した シミュレーションソフトウェアです。 ・低圧プラズマ解析を得意とします ・CCPや外部回路モデル等の高度な物理モデル解析が可能です ・流体モデルでの計算が難しい低圧ガスでのプラズマシミュレーションを得意とします ・2D(2次元),3D(3次元)対応し、複雑なモデルでも効率良く解析できます ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ウェーブフロント 本社

□■□【MiniLab-026】フレキシブル薄膜実験装置□■□

小型、省スペース! 研究開発に最適 蒸着・スパッタ・アニール等目的に合…

した、フレキシブルR&D用薄膜実験装置です。 マグネトロンスパッタ（最大3源）もしくは抵抗加熱蒸着（金属源 最大4、有機材料x4）に対応します、又基板加熱ステージを設置しアニール装置、プラズマエッチングも製作可能。 グローブボックス収納タイプもございます（*要仕様協議）。 フレキシブルにカスタマイズが可能な豊富なオプション部品を揃えております。 ◉ 最大基板サイズ：Φ6inch ◉ 抵...

メーカー・取り扱い企業： テルモセラ・ジャパン株式会社

半導体関連装置向け解析シミュレーションソフト

ガス流れや薄膜生成のシミュレーションに。大規模形状でも短時間計算

》 ■低圧のプラズマシミュレーションが可能 ■プラズマを用いた装置・材料・デバイス研究・開発・製造などに この2つのシステムで、半導体製造における薄膜生成、スパッタリング、 プラズマエッチングなどの様々なシミュレーションに対応可能です。 ※詳しくは資料をご覧ください。お問い合わせもお気軽にどうぞ。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ウェーブフロント 本社

【粉体工業展 出展】粉体に表面処理！減圧プラズマ粉体表面改質装置

プラズマ処理で粉体に親水性を付与！粉体の均一な混練・混合、液中への分散…

分散剤を使用せずとも分散効果・親水性付与。 ●PTFE粒子　⇒　撥水性が高いPTFE粒子にも親水性を付与。 ●活性炭粒子　⇒　粗面化処理による表面積拡大で吸着能力アップ。 ●Ni粒子　⇒　エッチング処理で表面形状変化。 ※可能性を秘めた新たな技術です。詳しくはPDFをダウンロードもしくは、お問い合わせ下さい。 【展示会に出展します】 展示会名：粉体工業展2017 会期：20...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社電子技研

WETプロセス装置　LCDマスク洗浄装置

マスクをブラシ・USスプレーで洗浄、高速スピン回転で乾燥します。

により乾燥を行なう 【WET関連装置】 ○マルチスピンプロセッサー ○枚葉スピンプロセッサー ○枚葉基板洗浄装置 ○LCDマスク洗浄装置 ○LCDカセット洗浄装置 ○LCD枚葉エッチング装置 ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社電子技研

【粉体に付加価値！】真空プラズマ粉体攪拌処理装置

微粒子を均一にプラズマ表面改質し、粉体へ様々な機能を付加します！

分散剤を使用せずとも分散効果・親水性付与。 ●PTFE粒子　⇒　撥水性が高いPTFE粒子にも親水性を付与。 ●活性炭粒子　⇒　粗面化処理による表面積拡大で吸着能力アップ。 ●Ni粒子　⇒　エッチング処理で表面形状変化。 ※可能性を秘めた新たな技術です。一度カタログをご覧の上、お問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社電子技研

WETプロセス装置　枚葉基板洗浄装置

基板を水平搬送にて、各種洗浄、乾燥処理を行います。

、乾燥処理を行なう 【WET関連装置】 ○マルチスピンプロセッサー ○枚葉スピンプロセッサー ○枚葉基板洗浄装置 ○LCDマスク洗浄装置 ○LCDカセット洗浄装置 ○LCD枚葉エッチング装置 ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社電子技研

洗浄装置「ワンサイクル式洗浄機・水切り乾燥機」

溶剤1液から2液式まで、多種に対応することができる洗浄機

後スクラブ洗浄装置 ○手動洗浄装置 ○JET-RINCER-DRYER ○IPA-VAPOR-DRYER ○ワンサイクル式洗浄機・水切り乾燥機 ○ワープ洗浄装置 ○ブラシ洗浄機 ○エッチングドラフト ○メッキ装置 ○スピンドライヤー、スピン洗浄機 ○卓上型エアーブロー ○薬液供給装置 ○純水装置（ろ過装置） ○高速プレス下死点制御コントローラー ●詳しくはお問い合...

メーカー・取り扱い企業： ヴァリアス株式会社

洗浄装置「自動洗浄装置」

外装SUS焼付塗装仕様～SUS、PVC仕様各種の洗浄装置

後スクラブ洗浄装置 ○手動洗浄装置 ○JET-RINCER-DRYER ○IPA-VAPOR-DRYER ○ワンサイクル式洗浄機・水切り乾燥機 ○ワープ洗浄装置 ○ブラシ洗浄機 ○エッチングドラフト ○メッキ装置 ○スピンドライヤー、スピン洗浄機 ○卓上型エアーブロー ○薬液供給装置 ○純水装置（ろ過装置） ○高速プレス下死点制御コントローラー ●詳しくはお問い合...

メーカー・取り扱い企業： ヴァリアス株式会社

WETプロセス装置　LCDカセット洗浄装置

圧縮エアーとスピン回転の併用により高レベル乾燥を実現しました。

により乾燥を行なう 【WET関連装置】 ○マルチスピンプロセッサー ○枚葉スピンプロセッサー ○枚葉基板洗浄装置 ○LCDマスク洗浄装置 ○LCDカセット洗浄装置 ○LCD枚葉エッチング装置 ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社電子技研

洗浄装置「フープ洗浄装置」

送り速度自動制御！フープ材送り機構付洗浄装置

後スクラブ洗浄装置 ○手動洗浄装置 ○JET-RINCER-DRYER ○IPA-VAPOR-DRYER ○ワンサイクル式洗浄機・水切り乾燥機 ○フープ洗浄装置 ○ブラシ洗浄機 ○エッチングドラフト ○メッキ装置 ○スピンドライヤー、スピン洗浄機 ○卓上型エアーブロー ○薬液供給装置 ○純水装置（ろ過装置） ○高速プレス下死点制御コントローラー ●詳しくはお問い合...

メーカー・取り扱い企業： ヴァリアス株式会社

洗浄装置「クローズド純水洗浄装置」

排水処理のランニングコストを削減！排水量を最小限に抑え再利用する洗浄機

後スクラブ洗浄装置 ○手動洗浄装置 ○JET-RINCER-DRYER ○IPA-VAPOR-DRYER ○ワンサイクル式洗浄機・水切り乾燥機 ○ワープ洗浄装置 ○ブラシ洗浄機 ○エッチングドラフト ○メッキ装置 ○スピンドライヤー、スピン洗浄機 ○卓上型エアーブロー ○薬液供給装置 ○純水装置（ろ過装置） ○高速プレス下死点制御コントローラー ●詳しくはお問い合...

メーカー・取り扱い企業： ヴァリアス株式会社

洗浄装置「手動洗浄装置」

単槽から多槽式まで、多種対応！手動式の洗浄装置

後スクラブ洗浄装置 ○手動洗浄装置 ○JET-RINCER-DRYER ○IPA-VAPOR-DRYER ○ワンサイクル式洗浄機・水切り乾燥機 ○ワープ洗浄装置 ○ブラシ洗浄機 ○エッチングドラフト ○メッキ装置 ○スピンドライヤー、スピン洗浄機 ○卓上型エアーブロー ○薬液供給装置 ○純水装置（ろ過装置） ○高速プレス下死点制御コントローラー ●詳しくはお問い合...

メーカー・取り扱い企業： ヴァリアス株式会社

プラズマエッチャーセミオートシリーズ【CPE-300S】

使い勝手の良い真空プラズマ装置の廉価版！テフロン親水化や各種素材の撥水…

操作も可能。 ステージサイズはφ100mm～φ1000mmで自由に選ぶことができます。 一般的なセラミック・金属・樹脂の親水化・接着強化の他、PTFE(テフロン)の処理や各種素材の撥水処理、エッチングや薄膜形成などにお使いいただけます。 オプションでの冷却機構やガス系統追加等のオーダーメイドも承っております。 ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社魁半導体

ハネウェル製　微圧センサー　HSCシリーズ　デジタル出力

弊社はハネウェル社の販売店として、お客様のニーズにお応え致します。

化学的にエッチングされた薄いシリコンダイヤフラムの表面に埋め込まれた4つのピエゾ抵抗体で構成される計測素子があり、出力される電気信号が圧力に比例して変化します。 ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社アイテクソリューション

ハネウェル製　微圧センサー　HSCシリーズ　アナログ出力

弊社はハネウェル社の販売店として、お客様のニーズにお応え致します。

化学的にエッチングされた薄いシリコンダイヤフラムの表面に埋め込まれた4つのピエゾ抵抗体で構成される計測素子があり、出力される電気信号が圧力に比例して変化します。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社アイテクソリューション

半導体向け装置「自動洗浄装置、レジスト剥離装置」

外装SUSは仕様！CR内に対応した洗浄装置、剥離装置

後スクラブ洗浄装置 ○手動洗浄装置 ○JET-RINCER-DRYER ○IPA-VAPOR-DRYER ○ワンサイクル式洗浄機・水切り乾燥機 ○ワープ洗浄装置 ○ブラシ洗浄機 ○エッチングドラフト ○メッキ装置 ○スピンドライヤー、スピン洗浄機 ○卓上型エアーブロー ○薬液供給装置 ○純水装置（ろ過装置） ○高速プレス下死点制御コントローラー ●詳しくはお問い合...

メーカー・取り扱い企業： ヴァリアス株式会社

半導体向け装置「JET-RINCER-DRYER」

手動枚葉処理仕様！各サイズ、形状に対応した洗浄機

後スクラブ洗浄装置 ○手動洗浄装置 ○JET-RINCER-DRYER ○IPA-VAPOR-DRYER ○ワンサイクル式洗浄機・水切り乾燥機 ○ワープ洗浄装置 ○ブラシ洗浄機 ○エッチングドラフト ○メッキ装置 ○スピンドライヤー、スピン洗浄機 ○卓上型エアーブロー ○薬液供給装置 ○純水装置（ろ過装置） ○高速プレス下死点制御コントローラー ●詳しくはお問い合...

メーカー・取り扱い企業： ヴァリアス株式会社