クリーンルーム用位置決めステージユニット『ILS型』

可動部をホールドできるSタイプやその他昇降式タイプも！コンパクトにもか…

『ILS型』は、主にガラス基板搬送用カセットを、シンプルに位置決めする ステージユニットです。 滑るように全方向に移動できる当製品は、コンパクトにもかかわらず 大きい荷重を受けることが可能。非常にスムースな動きでカセットを 位置...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社井口機工製作所 本社