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『3M(TM)金属イオン除去フィルター』※オンライン説明対応中
薬液中の金属イオンを50ppt以下レベルまで低減(※)!テスト用から量…
薬液中の金属イオンを50ppt以下レベルまで低減可能(※)。 リソグラフィプロセスで使用されるPGMEAなどの溶剤や、 BARCなどの高純度ポリマー溶液も、ワンパスで効果的な除去が行えます。 【特長】 ■薬液とろ材の接触時間が長いため、イオン交換容量が大きい ■金属溶出が少なく、前処理にかかる時間の短縮や作業の簡易化を実現 ■多くの薬液に対応できるよう、2タイプのろ材をラインアップ...
メーカー・取り扱い企業: スリーエム ヘルスケア ジャパン合同会社 フィルター製品事業部
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