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GCIBを用いた低ダメージスパッタリングで多層フィルムの層構造を明瞭に…
FT-IRで主にポリエチレンで構成されていることを確認したフィルムに対し、GCIB(Arクラスター)をスパッタに用い、TOF-SIMSで深さ方向に測定することで、10μmの厚みの中でポリエチレンとナイロン6とが積層されている構造を明瞭に可視化することができました。...
メーカー・取り扱い企業: 一般財団法人材料科学技術振興財団 MST
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