【労働災害事例】半導体製造装置のメンテナンス作業中に中毒

半導体製造装置のメンテナンス作業中に中毒を起こしてしまった事例をご紹介

半導体メーカーがメンテナンスを行うために行ったベーキング作業 および酸化作業の打ち合わせ後、半導体製造装置に残留している 有害物質を検知管で測定する際に、有害物質が漏洩し、装置の傍を 通った際に被災してしまいました。 被災者は、事務所で約1時間休憩後も体調不良のため、メーカーの 産業医...

メーカー・取り扱い企業： 理研計器株式会社 本社

【労働災害事例】使用した薬液の廃液処理を誤り塩化水素が発生

半導体素子製造工場で使用した薬液の廃液の処理を誤り、塩化水素が発生し作…

製造工程の膜付前洗浄作業では硫酸・過酸化水素・純水の混合液Mを、 マーキング作業ではリン酸・塩酸の混合液Nを使用していました。 M液とN液は別々に処理していましたが、誤ってM液回収用のポリタンクに N液を投入したため、塩化水素ガスが発生。 ポリタンクから吹き出した白煙の塩化水素ガスがクリーンルーム内に 広がり、室内にいた3 名の作業者が目の痛みを訴え治療を受けました。 【提...

メーカー・取り扱い企業： 理研計器株式会社 本社