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「コンタミネーションに影響するダスト挙動」解析にも対応した 希薄流体…
ュレーション ・化学蒸着 (CVD)、有機EL (OLED)、分子線エピタキシー (MBE ) などの半導体製造における薄膜生成のシミュレーション ◆さまざまな計算結果を出力◆ ・化学反応の計算 ・アレニウス形式の反応データから化学反応を計算 ・解離・再結合・分子(原子)交換反応計算 ・GUI 上で,複数の反応式を設定も可能 ※受託解析も行っておりますので、お気軽にお問い...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社ウェーブフロント 本社
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【事例】『DSMC-Neutrals』シャワーヘッド型CVD解析
「シャワーヘッド型CVD」解析にも対応した 希薄流体解析ソフトウェア…
ュレーション ・化学蒸着 (CVD)、有機EL (OLED)、分子線エピタキシー (MBE ) などの半導体製造における薄膜生成のシミュレーション ◆さまざまな計算結果を出力◆ ・化学反応の計算 ・アレニウス形式の反応データから化学反応を計算 ・解離・再結合・分子(原子)交換反応計算 ・GUI 上で,複数の反応式を設定も可能 ※受託解析もしておりますので、お気軽にお問い合...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社ウェーブフロント 本社
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「コンタミネーションに影響するダスト挙動」解析にも対応した 希薄流体…
ュレーション ・化学蒸着 (CVD)、有機EL (OLED)、分子線エピタキシー (MBE ) などの半導体製造における薄膜生成のシミュレーション ◆さまざまな計算結果を出力◆ ・化学反応の計算 ・アレニウス形式の反応データから化学反応を計算 ・解離・再結合・分子(原子)交換反応計算 ・GUI 上で,複数の反応式を設定も可能 ※受託解析も行っておりますので、お気軽にお問い...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社ウェーブフロント 本社
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シャワーヘッド型CVDの解析ソフト『DSMC-Neutrals』
「シャワーヘッド型CVD」解析にも対応した 希薄流体解析ソフトウェア…
ュレーション ・化学蒸着 (CVD)、有機EL (OLED)、分子線エピタキシー (MBE ) などの半導体製造における薄膜生成のシミュレーション ◆さまざまな計算結果を出力◆ ・化学反応の計算 ・アレニウス形式の反応データから化学反応を計算 ・解離・再結合・分子(原子)交換反応計算 ・GUI 上で,複数の反応式を設定も可能 ※受託解析もしておりますので、お気軽にお問い合...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社ウェーブフロント 本社
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