液体クロマトグラフィー質量分析(LC/MS)受託事業

複雑な混合試料中の微量成分の定性分析、定量分析に威力を発揮

て、高感度・高選択制が特長で、複雑な混合試料中の微量成分の定性分析、定量分析に威力を発揮します。 血中の医薬品濃度測定、医薬品の代謝物分析、抗体医薬品分析、疾病に関わるマーカー探索研究、環境汚染物質の分析、有機材料分析、食品分析など様々な分野で用いられています。 私たちは、2機種の高分解能LC-MS/MSおよび三連四重極LC-MSを駆使し、定性・定量共に、LC/MSに関する様々な受託分...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社プレッパーズ 本社

【分析事例】Siウエハベベル部の汚染評価

金属成分と有機成分を同時に評価可能です

半導体デバイス製造において、歩留まり向上の観点から、ウエハの裏面の清浄度向上に加え、ウエハのベベル部に残留する物質を除去することが求められています。今回、ベベル傾斜面のTOF-SIMS分析を行い、汚染の分布を評価しました（図2）。また、付着物と正常部・汚染源のマススペクトルを比較し、付着物は汚染源の金属（Cr）成分・有機物成分と一致していることがわかりました。 TOF-SIMSにてベベル部（端面...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

【分析事例】ウエハアナライザーを用いた有機汚染評価

GC/MS：ガスクロマトグラフィー質量分析法

ＷＡ（ウエハアナライザー）は、φ76～300mmのウエハを昇温加熱することにより、ウエハ表面に付着している有機汚染物質をガス化させ捕集管にトラップする装置です。そのため、デバイス特性への影響や製造上のトラブルの原因とされるフタル酸エステル系化合物や環状シロキサン化合物などを濃縮し、GC/MSで高感度に測定できます...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST