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積層薄膜作製装置
多層塗りによる厚膜の作製!スピンコータに液だれ防止が工夫されている装置
『積層薄膜作製装置』は、化学溶液法による積層薄膜作製プロセスである、
スピンコーティング、乾燥、焼成、冷却の各工程の繰り返しをロボットを
用いて行い、多層塗りによる厚膜の作製を自動で行う装置です。
コンピュータコントロールによるプログラム設定により、スピンコーティング、
乾燥、焼成、冷却...
メーカー・取り扱い企業:
株式会社和泉テック
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