真空 | イプロス医薬食品技術

ウルトラクリーンを創造！製造工程、分析工程に革新をもたらします

『0.2％BeCu』は、熱伝導率が良く、熱輻射率が低い、アウトガスを抑制する真空構造材です。用途としては極・超高真空環境が必要な真空チャンバー、高精度分析装置の分析室の素材、質量分析計のイオンソースの素材、装置の熱源付近のアウトガスを嫌う部分、低温化が必要な部分、冷却設...

メーカー・取り扱い企業：東京電子株式会社

真空計『コンビネーションゲージ　CC-10（NW25）』

大気圧から高真空までの広帯域の計測をこの1台で！センサー・回路部・ディ…

クリスタルゲージとコールドカソードゲージを組み合わせ、広帯域の計測を1台でカバーする複合型真空計です。大気圧から高真空まで、切り替え操作なしで計測でき、取り付け寸法の省スペース化が行えます。構造の単純化により、センサークリーニング、センサー交換をお客様自身で行っていただく事ができ...

メーカー・取り扱い企業：東京電子株式会社

『魔法のニップル』

0.2% BeCu合金製材料の特性を活かしたアイディア商品をご紹介！

『魔法のニップル』は、0.2%BeCu合金材料の特性を生かしたアイディア商品です。 BAゲージなどの熱陰極電離真空計は、ゲージ点灯中にゲージポート付近に触ってみると、かなり温かくなっているはずです。真空を下げるために、熱陰極電離真空計を切ってしまいたいと誰もが一度は考えます。しかし、真空計が無け...

メーカー・取り扱い企業：東京電子株式会社

極高真空計『3B-Gauge』

X線限界10-12Paの高精度イオンゲージヘッド！極高真空計

『3B-Gauge』は、熱陰極型電離真空計に存在する軟X線、電子衝撃脱離 (ESD)、ガス放出の3つの測定限界を総合的に改善し、10-12Pa台までの圧力測定が可能な新しいタイプの測定子です。電極は、超低ガス放出真空構造材...

メーカー・取り扱い企業：東京電子株式会社

B-A真空計『ミニチュアイオンゲージ　IG-10（NW25）』

センサー・回路部・ディスプレイが一体型のコンパクトな熱陰極電離真空計で…

広帯域（1.33×10-7Pa）?（6.65Pa）の高真空領域までを高精度測定ができる『イオンゲージ真空計』です。ディスプレイは高照度・高精細有機ELを採用し高視認性で、多様なデータを簡単操作で呼び出し、コントロールする事ができます。 ...

メーカー・取り扱い企業：東京電子株式会社

差動排気型質量分析計『Transpector CPM』

あらゆる機能を備えたコンパクトな質量分析計（ガス分析計）、複合プロセス…

・複合プロセスモニタ用の四重極をベースとした質量分析計・365日の継続的モニタにより生産性向上とコスト削減を実現・コンパクトで手頃な価格により、あらゆる低真空チャンバーに取り付け可能・新しいHexBlockTMサンプリングシステムにより性能が向上・プロセス圧力のモニタおよび真空のインターロック用としてCDGを採用・校正のための基準ガスボンベを...

メーカー・取り扱い企業：東京電子株式会社

ピラニ真空計　PG-20

小型なボディで装置組込みの省スペース化！

熱を奪われたフィラメントが常に一定温度となるよう、加える電力を自動的に調節する定温度型のピラニ真空計です。小型なボディで装置組込みの際に省スペース化を図ることができます。表示は操作しやすいデジタル方式です。...

メーカー・取り扱い企業：東京電子株式会社

コールドカソードゲージコントローラ　CG-20

堅牢な冷陰極型電離真空計

（特長）　●堅牢な冷陰極型電離真空計　●小型のボディーで省スペース化が可能（仕様）・出力信号：a)フォトリレー出力　容量DC24V、0.5A 　　　　　　b)アナログ出力　0?5V F.S.　主力インピ...

メーカー・取り扱い企業：東京電子株式会社

定温度型ピラニゲージコントローラ　PG-30

熱伝導を圧力に変換して、真空計測を行えます。

帯域（1.0×10-1Pa）?（1.0×10　4Pa）の低真空を測定できる、ピラニ真空計です。...

メーカー・取り扱い企業：東京電子株式会社

マイクロ真空計

高真空の計測が可能なマイクロ真空計

新技術を利用し、熱伝導方式のマイクロ真空計ではこれまで困難だった高真空の計測を実現。数百ミクロン角の大きさで、ピラニ真空計の測定範囲をカバー。...

メーカー・取り扱い企業：東京電子株式会社

多様な質量分析を可能にする東京電子のラインナップ

極微量ガス分析から大気圧サンプリングまで、単体での計測からシステムアッ…

多様な質量分析を可能にする東京電?のラインナップをご紹介します。具体的にはこのような質量分析が可能になります。【特徴】 ■E-15Pa・m3/secの極微量ガス分析が可能 ■極?真空下におけるE-13Pa台の?精度質量分析 ■?素・?分の?精度計測 ■?気圧リアルタイム分析（呼気・燃焼ガスなど） ※多様・?精度な質量分析のメカニズムの詳細はPDFをダウンロードしてご覧...

メーカー・取り扱い企業：東京電子株式会社

受託サービス：デバイスの質量ガス分析

高精度の四重極型質量分析システムによる受託分析サービス。封止デバイス内…

当社では、高精度の四重極型質量分析システムにより、お客様から受領したサンプルのガス分析（リーク量測定）を行うサービスを提供しております。分析装置に“低ガス放出”の0.2％BeCu合金製の真空構造材を採用しており、デバイスの破壊試験による10^-15Pa・m3/s(He)以下という極微小リークの検出が可能。封止デバイス内部や接合ウェハー界面のガス分析を行います。半導体デバイスの不良...

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四重極型質量分析計『Transpector MPS&MPH』

業界最高クラスのデータ収集速度、最小クラスの検知分圧、S/N比を実現！

ちらも業界最高クラスのデータ収集速度、最小クラスの検知分圧、S/N比を実現しています。残留ガス分析計（質量分析計） (RGA) の技術分野で世界をリードするインフィコン社が、お客様の真空アプリケーションに適したスタンダード型および、ハイパフォーマンス型 RGA を提供します。【特長】 ■超高速データ収集 ■TCP/IP イーサネット接続 ■デュアルフィラメント ...

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超高感度質量分析装置　WATMASS－MPH DAシステム

【新発想の質量分析法】MEMSやライフサイエンスデバイス、半導体などの…

『WATMASS－MPH DAシステム』は、当社の超低ガス放出残留ガス分析計「WATMASS」の技術と、超低ガス放出真空構造材（0.2% BeCu合金）の技術を組み合わせた新しい発想の質量分析装置です。弊社の超微量ガス分析装置『WATMASS－MPH システム』では破壊及び、リーク量（10＾-15Pa...

メーカー・取り扱い企業：東京電子株式会社

受託サービス：質量ガス分析＜分析システムの解説付き資料進呈＞

高精度の四重極型質量分析システムによる受託分析サービス。極微小リークも…

当社では、高精度の四重極型質量分析システムにより、お客様から受領したサンプルのガス分析（リーク量測定）を行うサービスを提供しております。分析装置に“低ガス放出”の0.2％BeCu合金製の真空構造材を採用しており、デバイスの破壊試験による10^-15Pa・m3/s(He)以下という極微小リークの検出が可能。半導体デバイスの不良解析、品質改善、品質管理に貢献します。【測定例...

メーカー・取り扱い企業：東京電子株式会社

真空計『コンビネーションゲージ　CC-10（ICF70）』

大気圧から高真空までの広帯域の計測をこの1台で！センサー・回路部・ディ…

クリスタルゲージとコールドカソードゲージを組み合わせ、広帯域の計測を1台でカバーする複合型真空計です。大気圧から高真空まで、切り替え操作なしで計測でき、取り付け寸法の省スペース化が行えます。構造の単純化により、センサークリーニング、センサー交換をお客様自身で行っていただく事ができ...

メーカー・取り扱い企業：東京電子株式会社

B-A真空計『ミニチュアイオンゲージ　IG-10（ICF70）』

センサー・回路部・ディスプレイが一体型のコンパクトな熱陰極電離真空計で…

広帯域（1.33×10-7Pa）?（6.65Pa）の高真空領域までを高精度測定ができる『イオンゲージ真空計』です。ディスプレイは高照度・高精細有機ELを採用し高視認性で、多様なデータを簡単操作で呼び出し、コントロールする事ができます。 ...

メーカー・取り扱い企業：東京電子株式会社

極微小リークの計測方法でお困りではありませんか？

答えはこちら！極微小リーク検査のソリューションと事例をご紹介！

『WATMASS－MPH DAシステム』は、当社の超低ガス放出残留ガス分析計「WATMASS」の技術と、超低ガス放出真空構造材（0.2% BeCu合金）の技術を組み合わせた新しい発想のガス分析装置です。弊社の超微量ガス分析装置『WATMASS－MPH システム』では破壊及び、リーク量（10＾-15Pa...

メーカー・取り扱い企業：東京電子株式会社