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超純水(UPW)の供給用バルブと流量計をご提案
超純水(UPW)は,半導体や太陽電池用ウェハーの製造工程で多く使用されます。 ウェハー表面に付着した研磨剤は洗浄工程で除去され,最終工程で超純水によって再度洗浄されます。 その後のエッチング工程で...
メーカー・取り扱い企業: ゲミュージャパン株式会社
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注射用水(WFI)供給用のバルブをご提案
度に応じて多重効用缶式,熱圧縮式の蒸留器を使用します。 「熱圧縮式」は,発生した蒸気をヒートポンプにより加圧し,温度を100℃から140℃に高め,供給水の加熱に利用します。 当社では,超純水の処理・ 供給設備およびプロセス設備での使用に特化して開発した,ダイアフラムバルブをご用意しております。...
メーカー・取り扱い企業: ゲミュージャパン株式会社
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アプリケーション例『精製水(PW)と高度精製水(HPW)の製造』
電気再生式純水装置(EDI)向けバルブをご提案
製造の最終段階において,粒子や細菌,パイロゲンなどを除去し,限外ろ過装置を設け,精製水の品質を維持します。 「精製水(PW)」は,膜分離法とイオン交換法を組み合わせて製造されますが,電気再生式純水装置(EDI)ではこの両方を組み合わせて製造します。 当社では,超純水の処理・ 供給設備およびプロセス設備での使用に特化して開発した,ダイアフラムバルブをご用意しております。...
メーカー・取り扱い企業: ゲミュージャパン株式会社
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