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非接触でエピウェハの抵抗率をモニター可能!
V)法を用いてウェハー上にパルス光を照射することによりウェハー表面電位変化を検出し、空乏層幅を測定します。強反転状態の空乏層幅が不純物濃度に比例することにより、不純物濃度測定を行い、抵抗率に換算(ASTM)します。 ...
メーカー・取り扱い企業: 日本セミラボ株式会社 新横浜本社
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