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高温動作によりゼロ点シフトを低減、CVD, Etch, ALDに!
ロセスでの使用が可能です。 【特長】 ■150℃、160℃高温動作可能 ■オールlnconelのキャパシタンスセンサ ■コンパクト設計による省スペース ■ガス種によらない安定性能 ■EU用RoHS適合 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 ...
メーカー・取り扱い企業: 日本エム・ケー・エス株式会社
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