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1nm分解能で位置決めステージを制御!
御軸数:2 最小指令単位:1nm インポジション範囲:±1nm(±3nm、±7nm 選択可) 最大動作速度設定値:6mm/s(接続ステージの性能が優先) 制御インターフェース:緊急停止入力、GP-IB、USB、Ethernet、汎用I/O ティーチング機能:200行×5チャンネル(1行1コマンド) 電源:AC100V~240V ...
メーカー・取り扱い企業: シグマ光機株式会社
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