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真空チャンバー内での位置決め用途に リニアエンコーダ内蔵により5nm分…
■コントローラ 制御軸数:2 最小指令単位:5nm 最大動作速度設定値:30mm/sec(ステージの最大移動速度が優先されます) 制御インターフェース:ジョグコントローラ、緊急停止入力、GP-IB、USB、Ethernet、汎用I/O ...
メーカー・取り扱い企業: シグマ光機株式会社
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リニアエンコーダ内蔵により1nm分解能で位置決め 可動範囲最大50mm
) ■コントローラ 制御軸数:2 最小指令単位:1nm 最大動作速度設定値:6mm/sec(ステージの最大移動速度が優先されます) 制御インターフェース:ジョグコントローラ、緊急停止入力、GP-IB、USB、Ethernet、汎用I/O ...
メーカー・取り扱い企業: シグマ光機株式会社
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真空チャンバー内での位置決め用途に サブミクロン分解能で位置決め 可動…
制御軸数:2 最小指令単位:100nm or 50nm 最大動作速度設定値:100mm/sec(ステージの最大移動速度が優先されます) 制御インターフェース:ジョグコントローラ、緊急停止入力、GP-IB、USB、Ethernet、汎用I/O ...
メーカー・取り扱い企業: シグマ光機株式会社
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リニアエンコーダ内蔵により1nm分解能で位置決め 可動範囲最大50mm…
a ■コントローラ 制御軸数:2 最小指令単位:1nm 最大動作速度設定値:6mm/sec(ステージの最大移動速度が優先されます) 制御インターフェース:ジョグコントローラ、緊急停止入力、GP-IB、USB、Ethernet、汎用I/O ...
メーカー・取り扱い企業: シグマ光機株式会社
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真空チャンバー内での位置決め用途に リニアエンコーダ内蔵により10nm…
■コントローラ 制御軸数:2 最小指令単位:10nm 最大動作速度設定値:50mm/sec(ステージの最大移動速度が優先されます) 制御インターフェース:ジョグコントローラ、緊急停止入力、GP-IB、USB、Ethernet、汎用I/O ...
メーカー・取り扱い企業: シグマ光機株式会社
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