プラズマクリーナ
試料にダメージを与えず、コンタミなしで真空チャンバーと試料をクリーニン…
■0.1mTorrの低圧でプラズマに点火致します。 ■プラズマの発光がモニタリングできます。 ■自動でRFインピーダンスをマッチング致します。 ■自動でガス流量を制御可能。...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社マツボー
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