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ワークをクリーンに水切り乾燥します。
半導体産業向けウエハー乾燥装置として多くの実績を有する装置です。 遠心力とULPAフィルタを介したエアーの流れによりワークをクリーンに水切り乾燥します。 ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社コクサン
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クレードル起し機構により、自動でクレードルを起します。
○駆動エアー 0.5Mpa (5Kg/cm2) ○最大処理量 6インチキャリア×2架 5インチ以下キャリア×2架又は4架 ○許容積載重量 2,000g以内(各クレードルへの積載重量) ○ULPAフィルタ 有 ○イオナイザ 有 ○制御 PLC・インバータ ○操作部 釦スイッチ ○回転数 1,000rpm(常用回転数 800rpm) ○モータ インバータモータ ○電源 AC200...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社コクサン
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