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電子が薄片試料を透過する際に原子との相互作用により失うエネルギーを測定…
EELS分析とは、電子が薄片試料を透過する際に原子との相互作用により失うエネルギーを測定する手法です。物質の構成元素や電子構造を分析することができます。 TEMに付属している元素分析装置(EDX)と比較して、下記の特徴があります。 ・EDXに比べて軽元素の感度が良い ・EDXに比べてエネルギー分解能が高い ・EDXに比べて空間分解能が高く、周辺情報を検出し難い ・元素によっては化学状...
メーカー・取り扱い企業: 一般財団法人材料科学技術振興財団 MST
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技術情報誌The TRC Newsは、研究開発、生産トラブルの解決、品…
【要旨】 TEMベースの結晶方位解析システム“ASTAR”を用いると、SEMをベースにしたEBSDよりも高い空間分解能が実現可能である(各種EBSD法の空間分解能が数十 nm程度に対してASTARを用いたACOM-TEM法では2~5 nm)。また、識別できる結晶構造が多いことも特長である。通常のTEM解析では取得困難な結晶方位マップ、結晶相マップおよび粒径分布などを得ることで定量的な解釈が可能で...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社東レリサーチセンター
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材料・構造の受託分析サ-ビスで使用している機械をご紹介しています!
日本マーテックの名古屋ラボが保有している分析装置をご紹介します。 材料分析/構造分析をサービス内容としており、FIB 4台+TEM 4台で対応。 FIB-G4をはじめ、FIB–NOVAやTEM–Talos、Gloveboxなどの装置で受託分析 サービスを行っています。 詳細については、お気軽にご相談ください。 【保有機械】 ■FIB-G4×2(1台 EDX付属) ■FIB...
メーカー・取り扱い企業: 日本マーテック株式会社
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TEM-EELSにより、微小領域の元素同定・化学状態分析が可能です
電子材料・触媒材料・紫外線吸収剤・光触媒などに用いられる酸化チタン(TiO2)には組成が同じで結晶構造の異なるアナターゼ型とルチル型が存在します。Si基板上に成膜した厚さ20nmの多結晶TiO2試料(写真1)について電子線プローブを約1nmΦ(FWHM)まで絞って測定を行いました。試料から取得したEELSスペクトルは、Ti, Oともにアナターゼ型TiO2の標準スペクトルと一致しています(図1, 2...
メーカー・取り扱い企業: 一般財団法人材料科学技術振興財団 MST
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Csコレクタ付STEMにより結晶整合性および組成分布の評価が可能
GaN系高電子移動度トランジスタ「GaN HEMT(High Electron Mobility Transistor)」は、AlGaN/GaNヘテロ構造によって二次元電子ガス層が得られ、電子移動度が高くなります。 本資料では、市販のGaN HEMTデバイスを解体し評価した事例をご紹介します。 HAADF-STEMにより、AlGaN/GaN界面近傍の結晶整合性を確認しました。また、EELSによ...
メーカー・取り扱い企業: 一般財団法人材料科学技術振興財団 MST
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高分解能EELSトモグラフィー
トモグラフィーは、試料を連続的に傾斜させて撮影した多数の投影像をコンピュータで画像処理し、3次元的内部構造を再構成する手法です。粒子など表面積・体積の算出も可能です。 Csコレクタ付きSTEMで0~180度のEELSマップ連続傾斜像を取得することにより、鮮明な3次元(3D)元素分布を構築することが可能となります。HAADF像の苦手とする平均原子番号の近い複合材料や回折コントラストの強い結晶質など...
メーカー・取り扱い企業: 一般財団法人材料科学技術振興財団 MST
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材料開発を効率化するモデリング・シミュレーションツール
次世代材料向けモデリングとシミュレーション環境である『BIOVIA Materials Studio』は 分子構造や結晶構造の持つ特性と挙動の関係を予測することにより、 材料科学や化学分野の研究者が新しい材料を開発できるよう支援します。 医薬品、触媒、ポリマーや混合物、金属や合金、電池や燃料電池、 ナノマテリアルなどの様々な種類の材料に対して、より優れた性能を持つ 材料を設計すること...
メーカー・取り扱い企業: ダッソー・システムズ株式会社
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アスムスは、原⼦スケールの材料シミュレーション解析サービスを提供してい…
半導体、触媒、二次電池、太陽電池、磁石など先端材料分野で活躍するシミュレーションソフトウェア「PHASE/0」等を使用して、お客様の材料シミュレーションのご要望に応えます。 原子スケールの物理現象を解析するエキスパートが、第一原理電子状態計算や分子動力学計算を駆使して、課題解決に取り組みます。 【 主な解析対象 】 半導体 / 誘電体 / 磁性体 / 有機化合物 / 金属 / 鉱物 / ...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社アスムス
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負極の断面構造・表面形状、活物質断面の元素マッピング像など複合的にアプ…
リチウムイオン二次電池の負極での容量低下の一因として、 活物質と電解液の界面反応により活物質表面に様々なリチウム塩化合物が 複合化したSEI(SolidElectrolyteInterphase)と呼ばれる被膜が 形成されることが挙げられています。 電池の性能向上のためには、SEI被膜の組成・厚み・化学結合状態の 制御が求められています。 当資料では、車載用電池の炭素系の負極活...
メーカー・取り扱い企業: 一般財団法人材料科学技術振興財団 MST
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低加速SEM・計測用/解析用電子線源として使用可能!組込可能な小型電子…
小型電子線鏡筒『MINI-EOC』は、Schottkyエミッタを用いた組込可能な電子線鏡筒で、 既存の装置へ追加する事ができます。 主に大電流密度や低加速を要求される計測や解析(LEED(低速電子回折)、 AES(オージェ電子分光法)、EDS(エネルギー分散分光法)、 EELS(電子エネルギー損失分光法))等に応用できます。 超高真空対応のSPM(走査プローブ顕微鏡)等と組み合わ...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社アプコ
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FIB:集束イオンビーム加工
FIBを用いたTEM観察用薄膜試料作製法では、高エネルギーのGaイオン(加速電圧30kV)を用いており、加工面にダメージ層が生じ、TEMの像質低下の原因となっています。そこで従来より低加速(2kV)の加工を行うことでダメージ層が低減でき、像質が改善されました。 FIB低加速加工によりFIB加工面のダメージを低減することで、TEM像観察、EELS測定において高品質で信頼性の高いデータが得られます。...
メーカー・取り扱い企業: 一般財団法人材料科学技術振興財団 MST
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ナノオーダーの形態観察・元素分析が可能
透過型電子顕微鏡(TEM)はμm~nmオーダーの形態観察・元素分析が可能です。 アイシャドウは固体粒子の集まりなので、そのままTEMによる分析を行いました。 TEM観察後、視野内の特定箇所についてEDX分析を行い、構成元素から材料を推定しました。 さらに、EELS分析により結晶型を区別することが可能です。...詳しいデータはカタログをご覧ください...
メーカー・取り扱い企業: 一般財団法人材料科学技術振興財団 MST
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技術情報誌The TRC Newsは、研究開発、生産トラブルの解決、品…
【要旨】 近年、高感度ならびに低消費電力デバイスの需要が高まり、スピントロニクス分野では磁気メモリや磁気センサーなどが注目を集めている。これらのデバイスには、高い磁気抵抗効果が得られることからMTJ(magnetic tunnel junction)構造が広く用いられている。このMTJ構造は数nm程度の薄い積層膜から成り、原子レベルでの膜厚やラフネスおよび結晶性が特性を左右する。また、アニール温...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社東レリサーチセンター
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コンタクト電極/SiC層の界面の相同定・元素分布評価
市販のSiCパワーMOS FET素子の解析事例をご紹介します。 SiC材料では、SiだけでなくCを含めた系での材料制御が必須となり、従来のSi半導体の製造方法と違いがあります。コンタクト電極とSiC層のオーミック接合形成プロセスにおいて、TEMを用いたEDX/EELS分析および電子回折から、Cを含めた元素分布や結晶相を評価しました。...詳しいデータはカタログをご覧ください...
メーカー・取り扱い企業: 一般財団法人材料科学技術振興財団 MST
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DLC(ダイアモンドライクカーボン)の各種分析が可能!
DLC(ダイアモンドライクカーボン)の結晶性、膜厚の構造、水素量、密度、硬度の評価を紹介いたします。...構造評価 TEM高分解能像観察 Raman TEM-EELS XAFS 組成評価 RBS ERDA (水素分析) 密度評価 XRR RBS ERDA (膜厚) 硬度評価 ナノインデンテーション...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社イオンテクノセンター
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電池用材料の研究・開発 - Materials Studio
【ホワイトペーパー進呈】電池用材料の研究・開発に活用されるツール!
『BIOVIA』は、 電池用材料の研究・開発に活用できるシミュレーションツールです。 電極間電位差予測、原子・分子の安定配置探索等の各種シミュレーションや 各種分析実験(IR, Raman, EELS, XANES, XES, NMR等)の 理論的な予測スペクトルが計算できます。 さらに、大規模スクリーニングによる高性能候補材料の探索も可能です。 【特長】 ■正負電極・電...
メーカー・取り扱い企業: ダッソー・システムズ株式会社
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低加速STEM観察とEELS測定による有機材料の分布状態評価
低加速STEM観察とSTEM-EELS面分析により、バルクへテロ接合型太陽電池の活性層の混合状態の評価を行いました。評価にはITO上に活性層のみを成膜した試料を用いました。 低加速STEM像(写真1)のコントラストはSTEM-EELS像のS, Cの元素分布(写真2, 3)と対応しており、バルクヘテロ構造を反映していることが確認できました。また、Sの分布に偏りが認められ、表面側にP3HTが偏析して...
メーカー・取り扱い企業: 一般財団法人材料科学技術振興財団 MST
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充電前後の電極の様子およびLiの存在・分布を評価可能
Siは高容量負極活物質の候補の一つですが、充放電時の非常に大きな体積変化のためにサイクル劣化が激しいと言われています。 充電前後のSi負極に関して雰囲気制御環境下で解体、観察をしました。更に、FIBマイクロサンプリング法により断面観察用サンプルを作成し、Csコレクタ付きSTEM装置で形状観察とEELS測定を行い、Si電極の様子と電極中のLi分布を評価しました。...詳しいデータはカタログをご覧く...
メーカー・取り扱い企業: 一般財団法人材料科学技術振興財団 MST
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30nmから5μmの切片作製が可能!材料系解析事例を複数ご紹介した資料…
当資料は、株式会社花市電子顕微鏡技術研究所が行った材料系解析を まとめた事例集です。 「ウルトラミクロトーム」では、生物組織、金属メッキ層や無機蒸着 層を含む複合材料、ナノ粒子など幅広い分野における高品質な超薄切片 および断面作製に適応可能です。 当社では、受託分析を始めました。協力機関とタイアップして材料分析を 実施致します。 【掲載事例】 ■リポソームの構造解析 ...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社花市電子顕微鏡技術研究所
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