LA-ICP-MSによる生体試料のマッピング分析

マッピング分析により、生体試料中の元素分布を明らかにいたします

LA-ICP-MS（レーザーアブレーション/ICP質量分析法）による元素マッピング分析をいたします。...LA-ICP-MSの特徴 ■ 高感度・迅速分析が可能 ■ 前処理が不要で、非破壊に近い分析が可能 ■ 溶解困難な固体試料も直接分析が可能 ■ 局所的な分析が可能 ■ 深さ方向分析・線分析・面分析（元素マッピング分析） ■ 微量（数ppm）から高濃度(数％)まで対応可能 ■ 多元素...

メーカー・取り扱い企業： JFEテクノリサーチ株式会社

【分析事例】SiC基板表面および内部の不純物濃度測定

ICP-MS, GDMSにより基板表面と内部とを切り分けて分析

半導体材料に含まれる不純物は、リーク電流の発生やデバイスの早期故障等、製品の品質に影響する場合があります。従って、材料に含まれる不純物量を把握することは、製品の品質向上において重要です。本資料では、パワーデバイス材料として注目されているSiC基板について、基板表面に付着した不純物をICP-MS、基板中の不純物をGDMSで分析した事例をご紹介します。 測定法：ICP-MS・GDMS 製品分野：パ...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST