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直流高電圧、正負両極出力が可能な、静電チャックの専用電源です
ノロジーでは、静電チャックの導入、専用電源や周辺機器の一括提案・購入が可能です。 当社の『静電チャック専用電源』は、より快適・安全に静電チャックが使用できるよう開発されており、用途に合わせたスペックの選択が可能です。 チャックシステム異常発生時には、電源が自動でOFFになる安全機能が搭載されており、未然に事故を防ぐことが可能です。 また、デチャックアシスト機能と極性切替機能により、電...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社クリエイティブテクノロジー
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