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再現性がよく低価格で、取付方向の制約はなし!ハードプロセス装置に対応し…
ピラニゲージ『M-351PG』はNiフィラメントを採用し、耐蝕性を 向上させ、RIE、CVDなどのハードプロセス装置に対応したモデルです。 再現性がよく低価格で、取付方向の制約はなし。 半導体や電子デバイス製造装置、食品・医薬品...
メーカー・取り扱い企業: キヤノンアネルバ株式会社 栗木本社
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優れた再現性で測定が可能!熱源(フィラメント)を持たない真空計
以外に、チャンバの大気圧ベントの検出用の 圧力スイッチとして、またプロセス圧力の測定などにも使用が可能です。 【特長】 ■大気圧から10^-2Paまで、優れた再現性で測定 ■熱源(フィラメント)を持たない ■取り扱いが安全な上、プロセスガスに影響を与えない ■コントローラ部は、手のひらサイズ、質量はわずか200g ■環境に配慮した少ない消費電力 ※詳しくはPDF資料をご...
メーカー・取り扱い企業: キヤノンアネルバ株式会社 栗木本社
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電離真空計『M-723HG、M-823HG、M-923HG』
豊富な外部制御機能により完全な遠隔操作が可能!電源電圧は特注も対応いた…
APC(自動圧力制御)で有効なレンジホールド機能を標準装備。 「M-823HG」ではワイドレンジ B-A ゲージとサーモカップルゲージの コンビネーション及びゲージの自動切替を行うオートフィラメント機能の 搭載により大気圧から高真空領域までを1台で高精度にカバーします。 【特長】 ■圧力レンジは自動切換 ■圧力及び種々のメッセージが液晶表示 ■豊富な外部制御機能により完全な...
メーカー・取り扱い企業: キヤノンアネルバ株式会社 栗木本社
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高真空~超高真空装置搭載に好適!最大4ヶのオプションボード取付け可能で…
オプションにて、多用なゲージ、データ出力等に対応する拡張ボードを用意。 ミニチュア B-A ゲージと TC ゲージ(オプション)のコンビネーション及び、 ゲージの自動切替を行うオートフィラメントの搭載により、 大気圧~超高真空までの高精度な真空測定を実現出来ます。 【特長】 ■見やすい液晶表示形式 ■圧力及び、種々のメッセージが液晶にて表示 ■圧力レンジは自動切換 ■...
メーカー・取り扱い企業: キヤノンアネルバ株式会社 栗木本社
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再現性・リニアリティーがよく、広範囲な圧力測定が可能!真空計として優れ…
スパッタプロセスを超える低真空領域まで測定可能 ■圧力値のアナログ信号出力は、100msec以内と高い応答性を確保し、 プロセス圧力コントロールにも使用できる ■高圧力領域側での使用時のフィラメント寿命改善など、用途に合わせ選択が可能 ■体積比にて40%の省スペース、省電力化を実現(従来機「M-310HG」と比較) ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...
メーカー・取り扱い企業: キヤノンアネルバ株式会社 栗木本社
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ボタン操作1つで機器の立ち上げから測定までが可能!高い感度、安定性、応…
【その他特長】 ■可搬に便利な大型キャスタ、ハンドル等フィールドサービスを目的とした利用にも対応 ■長寿命タングステンフィラメントを採用することにより、長期間、高感度測定可能 ■24時間稼働のシステムへの搭載を前提に各部を堅牢な設計 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...
メーカー・取り扱い企業: キヤノンアネルバ株式会社 栗木本社
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優れた測定安定性!未放電による測定停止、圧力表示値のフラツキを低減しま…
『M-370CG』は、熱フィラメントを使用しない堅牢な コールドカソードゲージ(冷陰極電離真空計)です。 高真空から超高真空まで安定した圧力測定を実現。 優れた測定安定性で、未放電による測定停止、 圧力表示値のフラ...
メーカー・取り扱い企業: キヤノンアネルバ株式会社 栗木本社
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