Wafer ATRにおけるシリコンウェハー表面の高精度分析

【無料プレゼント】MIRS法を応用した新たなアプローチである製品をご紹…

響し、とくにウェハー表面に形成される各種薄膜の化学的評価が ますます重要となっています。 当資料で紹介する「Wafer ATR」は、いわゆるMIRS法を応用した新たな アプローチであり、フランス原子力庁電子情報研究所CEA-Letiの グループとの研究成果を製品化したものです。 【掲載内容】 ■はじめに ■Wafer ATR(ウェハーATR) 　・多重内部反射による感度の向...

メーカー・取り扱い企業： ブルカージャパン株式会社 オプティクス事業部